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申请/专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日：2023-10-12
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220984468U
主分类号：H01J37/08
分类号：H01J37/08;H01J37/32
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本申请涉及一种供气装置以及矩形射频离子源，所述供气装置包括：供气管道，导气部以及矩形均气板；供气管道穿过放电室底部的密封接口插入到放电室内的电离区域；导气部设置在供气管道的端部，导气部设有若干个出气孔，导气部的顶部设有矩形均气板；供气管道从外部导入工作气体，将工作气体输送至导气部并通过出气孔进行输出；矩形均气板将工作气体进行横向导流到电离区域中；所述矩形射频离子源包括供气装置，放电室，射频线圈，设于放电室前端的栅网结构以及外壳。该技术方案，增加了工作气体的横向扩散能力，提高了电离产生等离子体的均匀性。放电室结构，增加了放电室的密封性，且便于拆装和维护保养。
主权项：1.一种供气装置01，应用于矩形射频离子源100，其特征在于，包括：供气管道11，导气部12以及矩形均气板13；所述供气管道11穿过放电室02底部的密封接口20插入到放电室02内的电离区域；所述导气部12设置在供气管道11的端部，所述导气部12设有若干个出气孔，所述导气部12的顶部设有矩形均气板13；所述供气管道11从外部导入工作气体，将所述工作气体输送至所述导气部12并通过出气孔进行输出；所述矩形均气板13将工作气体进行横向导流到电离区域中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 供气装置以及矩形射频离子源
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