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申请/专利权人：湖州中芯半导体科技有限公司
申请日：2023-10-23
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN220952039U
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44;C23C16/52
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.14#授权
摘要：本实用新型涉及一种CVD镀膜装置，包括装置本体，所述装置主体后端内表面下侧设有下循环口，所述装置本体下端内表面设有置物台，所述置物台的左右两端与装置本体之间均设有收纳块，所述收纳块远离置物台的内壁前后对称设有弹力件，所述弹力件与伸缩杆靠近置物台的一端穿过收纳块的表面固定连接弧形板，所述下循环口的后端套接循环管，所述循环管的中部设有循环泵，且所述循环管的上端套接上循环口；通过加热丝和循环泵，循环泵将加热丝产生的热空气不断循环，使得装置主体内部加热均匀，提高镀模质量；通过弧形板和弹力件，对待加工工件进行浮动支撑，减小待加工件接触面的压力，减少对待加工件的夹持损伤。
主权项：1.一种CVD镀膜装置，其特征在于：包括装置主体1，所述装置主体1后端内表面下侧设有下循环口2，所述装置主体1下端内表面设有置物台3，所述置物台3的左右两端与装置本体之间均设有收纳块4，所述收纳块4远离置物台3的内壁居中设有伸缩杆41，且所述收纳块4远离置物台3的内壁前后对称设有弹力件42，所述弹力件42与伸缩杆41靠近置物台3的一端穿过收纳块4的表面固定连接弧形板43，所述下循环口2的后端套接循环管21，所述循环管21的中部设有循环泵22，且所述循环管21的上端套接上循环口23，所述上循环口23垂直突出在装置主体1的上端下表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖州中芯半导体科技有限公司 一种CVD镀膜装置
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