申请/专利权人：昆山国显光电有限公司

申请日：2019-11-27

公开（公告）日：2020-01-10

公开（公告）号：CN110670044A

主分类号：C23C14/54(20060101)

分类号：C23C14/54(20060101);C23C14/24(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.10.01#授权;2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.10#公开

摘要：本发明公开了一种成膜厚度检测装置、检测方法以及蒸镀设备，成膜厚度检测装置包括：晶振片，位于蒸镀源的蒸发侧，并与蒸镀源间隔设置，晶振片能够将晶振片上的成膜厚度信息转化为振动频率信息；导向组件，包括容纳腔以及与容纳腔连通的导向通道，容纳腔容纳晶振片，导向通道具有朝向蒸镀源的导入口，蒸镀源的蒸发材料能够经由导入口在导向通道的导向下到达晶振片成膜，其中，导入口能够在晶振片与蒸镀源之间移动以使导向通道伸缩。本发明提供的成膜厚度检测装置能够准确的对晶振片上的成膜厚度进行检测。

主权项：1.一种成膜厚度检测装置，其特征在于，包括：晶振片，位于蒸镀源的蒸发侧，并与所述蒸镀源间隔设置，所述晶振片能够将所述晶振片上的成膜厚度信息转化为振动频率信息；导向组件，包括容纳腔以及与所述容纳腔连通的导向通道，所述容纳腔容纳所述晶振片，所述导向通道具有朝向所述蒸镀源的导入口，所述蒸镀源的蒸发材料能够经由所述导入口在所述导向通道的导向下到达所述晶振片成膜，其中，所述导入口能够在所述晶振片与所述蒸镀源之间移动以使所述导向通道伸缩。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆山国显光电有限公司 成膜厚度检测装置、检测方法以及蒸镀设备

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