申请/专利权人：世界先进积体电路股份有限公司

申请日：2018-09-21

公开（公告）日：2020-03-31

公开（公告）号：CN110943072A

主分类号：H01L23/64(20060101)

分类号：H01L23/64(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2022.02.18#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.04.24#实质审查的生效;2020.03.31#公开

摘要：本发明提供一种电感结构，包括：一基板；一第一介电层，形成于该基板上；一第一金属层，形成于该第一介电层中；一第二介电层，形成于该第一介电层上；一第二金属层，形成于该第二介电层中；至少一中间介电层，形成于该第一介电层与该第二介电层之间；至少一中间金属层，形成于该至少一中间介电层中；以及多个通孔，连接该第一金属层与该至少一中间金属层，以及连接该第二金属层与该至少一中间金属层，其中该第一金属层、该通孔、该至少一中间金属层、该通孔、该第二金属层、该通孔、以及该至少一中间金属层形成一延伸路径，该延伸路径以该第一金属层为一延伸起点，依螺旋方式延伸。本发明提供的电感结构线宽大、占用面积低。

主权项：1.一种电感结构，其特征在于，包括：一基板；一第一介电层，形成于该基板上；一第一金属层，形成于该第一介电层中；一第二介电层，形成于该第一介电层上；一第二金属层，形成于该第二介电层中，其中该第一金属层与该第二金属层为连续金属层；至少一中间介电层，形成于该第一介电层与该第二介电层之间；至少一中间金属层，形成于该至少一中间介电层中，其中该至少一中间金属层为图案化金属层；以及多个通孔，连接该第一金属层与该至少一中间金属层，以及连接该第二金属层与该至少一中间金属层，其中该第一金属层、该通孔、该至少一中间金属层、该通孔、该第二金属层、该通孔、以及该至少一中间金属层形成一延伸路径，该延伸路径以该第一金属层为一延伸起点，依逆时针螺旋方式延伸。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 世界先进积体电路股份有限公司 电感结构

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