申请/专利权人：信越化学工业株式会社

申请日：2019-10-31

公开（公告）日：2020-05-12

公开（公告）号：CN111142332A

主分类号：G03F7/004(20060101)

分类号：G03F7/004(20060101);G03F7/09(20060101);G03F7/20(20060101)

优先权：["20181101 JP 2018-206503"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.10.26#实质审查的生效;2020.05.12#公开

摘要：本发明为感光性树脂组合物和感光性干膜。提供了感光性树脂组合物，其包含A100pbw的含酚羟基的树脂，和B0.1‑18pbw的每分子含1‑8个环氧基的、含有氮、硫或磷、并且具有50‑6,000分子量的化合物形式的环氧添加剂。该组合物对金属布线具有提高的结合力。

主权项：1.感光性树脂组合物，其包含A具有酚羟基的树脂，和B每分子含有1至8个环氧基的、含有选自氮、硫和磷的至少一种元素且具有50至6,000分子量的化合物形式的环氧添加剂，相对于每100重量份所述树脂A，所述环氧添加剂B以0.1至18重量份的量存在。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信越化学工业株式会社 感光性树脂组合物和感光性干膜

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