申请/专利权人：信利(仁寿)高端显示科技有限公司

申请日：2019-11-28

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN210607178U

主分类号：H01J37/32(20060101)

分类号：H01J37/32(20060101);H01J37/317(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.05.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种基板锁扣载具，包括：载具机构用于承载待掺杂基板以及支撑掩膜板；锁定机构用于将所述掩膜板锁定在所述载具机构上，以固定所述掩膜板与所述待掺杂基板之间的相对位置。该基板锁扣载具可在掩膜板和待掺杂基板进行对位后固定两者之间的相对位置，防止两者之间的相对位置出现偏移而影响到离子注入的精准度。本实用新型还提供一种离子注入设备。

主权项：1.一种基板锁扣载具，其特征在于，包括：载具机构用于承载待掺杂基板以及支撑掩膜板；锁定机构用于将所述掩膜板锁定在所述载具机构上，以固定所述掩膜板与所述待掺杂基板之间的相对位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 一种基板锁扣载具和离子注入设备

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