申请/专利权人：合刃科技(深圳)有限公司

申请日：2018-12-26

公开（公告）日：2020-06-26

公开（公告）号：CN111344559A

主分类号：G01N21/88(20060101)

分类号：G01N21/88(20060101);G01N21/01(20060101);G06K9/62(20060101);G06K9/46(20060101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.15#授权;2020.07.21#实质审查的生效;2020.06.26#公开

摘要：一种缺陷检测方法，包括：利用不同波长的相干光源11、12、13、14照射被测物体；拍摄被测物体在不同波长的相干光源11、12、13、14照射下生成的多幅散斑图像；利用散斑图像检测被测物体的缺陷。有益效果：测量精度达到了光波波长量级，可以检测微米级别的微缺陷，是一种非接触、高精度、在线式、实时性的无损检测方法。

主权项：1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：利用不同波长的相干光源照射被测物体；拍摄所述被测物体在所述不同波长的相干光源照射下生成的散斑图像；利用神经网络及所述散斑图像检测所述被测物体的缺陷，将所述散斑图像和或由所述散斑图像提取的特征参数输入至所述神经网络，由所述神经网络输出检测结果，所述检测结果为所述被测物体的缺陷种类。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合刃科技(深圳)有限公司 缺陷检测方法及缺陷检测系统

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