申请/专利权人：夏泰鑫半导体(青岛)有限公司

申请日：2019-12-24

公开（公告）日：2020-06-30

公开（公告）号：CN111352296A

主分类号：G03F1/66(20120101)

分类号：G03F1/66(20120101);H01L21/673(20060101)

优先权：["20181224 US 62/784552"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.12.28#实质审查的生效;2020.06.30#公开

摘要：一种光罩盒，用于收容光罩，包括盒体及盖体，所述盒体包括底板及依次相连的第一侧板、第二侧板及第三侧板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板与所述底板相连，所述盖体包括转动连接的顶盖与侧盖，所述顶盖与所述第二侧板转动连接，所述侧盖至少远离所述顶盖的一端的材质比所述光罩的材质软。本发明的实施例提供的所述光罩盒将容易刮擦所述光罩的所述侧盖远离所述顶盖的一端设置成较软的材质，避免所述光罩上的图案被破坏，影响后续的曝光制程，提高了良率，降低了成本。

主权项：1.一种光罩盒，用于收容光罩，包括盒体及盖体，所述盒体包括底板及依次相连的第一侧板、第二侧板及第三侧板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板与所述底板相连，所述盖体包括转动连接的顶盖与侧盖，所述顶盖与所述第二侧板转动连接，其特征在于：所述侧盖至少远离所述顶盖的一端的材质比所述光罩的材质软。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 光罩盒

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