申请/专利权人：夏泰鑫半导体(青岛)有限公司

申请日：2019-11-29

公开（公告）日：2020-06-30

公开（公告）号：CN111354714A

主分类号：H01L23/544(20060101)

分类号：H01L23/544(20060101);G03F1/42(20120101)

优先权：["20181221 US 62/784308"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.02.15#授权;2020.07.24#实质审查的生效;2020.06.30#公开

摘要：本发明公开了一种对准标记系统，其包括：第一组对准标记，其具有被分成群组的多个段，所述组彼此对称；与所述第一组对准标记正交的第二组对准标记，所述第二组对准标记具有被分成群组的多个段，各组彼此对称；和一与所述第一组对准标记和所述第二组对准标记对角设置的第三组对准标记，所述第三组对准标记具有被分成群组的多个段，并且所述群组正交于其各自的相邻组。

主权项：1.一种对准标记系统，其特征在于，包括：第一组对准标记，其具有被分成群组的多个段，所述组彼此对称；与所述第一组对准标记正交的第二组对准标记，所述第二组对准标记具有被分成群组的多个段，各组彼此对称；和与所述第一组对准标记和所述第二组对准标记对角设置的第三组对准标记，所述第三组对准标记具有被分成群组的多个段，并且所述群组正交于其各自的相邻组。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 对准标记系统

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