申请/专利权人：康宁公司

申请日：2018-07-19

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111433578A

主分类号：G01L1/14(20060101)

分类号：G01L1/14(20060101);G01L15/00(20060101);B08B11/04(20060101)

优先权：["20170721 KR 10-2017-0092736"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.11.09#授权;2020.08.14#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：提供压力场测绘设备以及使用所述设备的清洁玻璃基板的方法。压力场测绘设备包括支撑基板；布置在支撑基板上的多个压力传感器，每个压力传感器被配置为响应于施加到所述压力传感器的压力而输出信号；防水袋，围绕支撑基板；及分析器，配置为从多个压力传感器的每一个接收信号，并基于所接收的信号实时输出支撑基板上的压力图。通过使用压力场测绘设备以及使用所述设备的清洁玻璃基板的方法，可在清洁处理中没有工人之间的偏差的情况下进行客观和定量的测试，因此大大减少例如颗粒缺陷的产品缺陷。

主权项：1.一种压力场测绘设备，包括：支撑基板；多个压力传感器，布置于所述支撑基板上，所述多个压力传感器的每一个被配置为响应于施加到所述压力传感器的的压力而输出信号；及分析器，配置为从所述多个压力传感器的每一个接收所述信号，并基于所述所接收的信号输出所述支撑基板上的压力图。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 康宁公司 压力场测绘设备以及使用所述设备的清洁玻璃基板的方法

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