申请/专利权人：株式会社尼康

申请日：2018-12-11

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111433675A

主分类号：G03F7/004(20060101)

分类号：G03F7/004(20060101);C07F7/18(20060101);G03F7/09(20060101);G03F7/095(20060101);G03F7/20(20060101)

优先权：["20171213 JP 2017-238552"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.29#授权;2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：本发明提供一种图案形成方法，其是在对象物的被处理面上形成图案的图案形成方法，其包括下述工序：第1层形成工序，在上述被处理面上形成第1层，该第1层包含具有能够用酸分解、并且还能够用光分解的保护基团的化合物；第2层形成工序，在上述第1层上形成包含通过曝光而产生酸的光产酸剂的第2层；曝光工序，对上述第1层和上述第2层进行曝光，在上述第1层上形成由曝光区域和未曝光区域构成的潜像；以及配置工序，将图案形成材料配置在上述曝光区域或上述未曝光区域。

主权项：1.一种图案形成方法，其是在对象物的被处理面上形成图案的图案形成方法，其包括下述工序：第1层形成工序，在所述被处理面上形成第1层，该第1层包含具有能够用酸分解、并且还能够用光分解的保护基团的化合物，第2层形成工序，在所述第1层上形成包含通过曝光而产生酸的光产酸剂的第2层，曝光工序，对所述第1层和所述第2层进行曝光，在所述第1层上形成由曝光区域和未曝光区域构成的潜像，以及配置工序，将图案形成材料配置在所述曝光区域或所述未曝光区域。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社尼康 图案形成方法、晶体管的制造方法和图案形成用部件

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