申请/专利权人：法国圣戈班玻璃公司

申请日：2019-01-29

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111426273A

主分类号：G01B11/06(20060101)

分类号：G01B11/06(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2022.07.15#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.07.17#公开

摘要：本发明提供一种用于测量基质的厚度的测量方法和测量装置。所述基质具有相对的第一表面和第二表面，所述测量方法包括：提供检测光束和参考光束；获取样本光束；获取包含随所述光源的波长变化的干涉信号；获得所述基质的二维图像或三维图像；在所述二维图像或三维图像中，根据所述光强信息随轴向深度的变化，确定所述基质与外界环境之间的界面位置；以及在所述二维图像或三维图像中，根据所确定的界面位置获得所述基质的厚度。

主权项：1.一种用于测量基质的厚度的测量方法，所述基质具有相对的第一表面和第二表面，所述测量方法包括：提供检测光束和参考光束；获取所述检测光束自分布于所述第一表面上的多个入射点入射至所述第二表面上的与入射点一一对应的反射点而经过的光学检测路径上各点处产生的样本光束；根据所述样本光束与所述参考光束相互干涉而形成的干涉光束，来获取包含随所述光源的波长变化的干涉信号；根据所述干涉信号计算所述光学检测路径上各点的光强信息，并且根据与所述多个入射点相关的多个光强信息，获得所述基质的二维图像或三维图像；在所述二维图像或三维图像中，根据所述光强信息随轴向深度的变化，确定所述基质与外界环境之间的界面位置；以及在所述二维图像或三维图像中，根据所确定的界面位置获得所述基质的厚度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 法国圣戈班玻璃公司 用于测量基质的厚度的测量方法和测量装置

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