申请/专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

申请日：2020-06-10

公开（公告）日：2020-09-04

公开（公告）号：CN111621752A

主分类号：C23C14/32(20060101)

分类号：C23C14/32(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/02(20060101);B82Y30/00(20110101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.04.12#授权;2020.09.29#实质审查的生效;2020.09.04#公开

摘要：本发明公开了一种AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺，属于复合涂层制备技术领域。该工艺采用电弧离子镀膜技术镀膜，靶材选取金属Cr靶、AlCr靶、AlCrSi靶。镀膜前先通入氩气辉光放电清洗，随后开启Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后沉积CrN过渡层，最后通入氮气和氧气作为反应气体，交替开启AlCrSi靶和AlCr靶，依次往复沉积AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层。本发明制备的多层纳米复合涂层工艺简单，涂层组织结构致密、涂层与基体间结合力强，具有较高的硬度和强度，良好的耐磨损性能。

主权项：1.一种AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺，其特征在于：该工艺是采用电弧离子镀膜技术先在基体上沉积CrN过渡层，再在CrN过渡层上依次往复沉积AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层，从而获得所述AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层纳米复合涂层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD