申请/专利权人：苏州辉钻纳米新材料有限公司

申请日：2022-09-22

公开（公告）日：2023-03-28

公开（公告）号：CN218755992U

主分类号：C23C14/06

分类号：C23C14/06;C23C14/32;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.28#授权

摘要：本实用新型适用于镀膜技术领域，提供了基于PVD镀膜的纳米多层AlCrNCrN超厚膜材料，解决了镀膜过渡过程会在靶材表面生成大小和数量都不可控的液滴，这些大液滴会被喷溅到正在生长的膜层当中，并一起被沉积到产品表面，从而使得镀膜层出现缺陷的问题；包括：镀膜基材；设置在所述镀膜基材上的复合镀膜体，所述复合镀膜体用于保证镀膜基材强度；复合镀膜体包括：底镀膜层，与镀膜基材接触，用于保护镀膜基层；顶镀膜层，设置在镀膜基材的一侧，用于保护所述镀膜基层以及底镀膜层；本申请通过设置复合镀膜体，复合镀膜体的设置能够控制膜层内部涂层增长缺陷的大小和数量，同时，在保证膜层性能不被改变和弱化的情况下，降低和优化内应力。

主权项：1.基于PVD镀膜的纳米多层AlCrNCrN超厚膜材料，所述基于PVD镀膜的纳米多层AlCrNCrN超厚膜材料包括：镀膜基材，所述镀膜基材用于承载多层镀膜材料；其特征在于，设置在所述镀膜基材上的复合镀膜体，所述复合镀膜体用于保证镀膜基材强度；其中，所述复合镀膜体包括：底镀膜层，与镀膜基材接触，用于保护镀膜基层；顶镀膜层，设置在镀膜基材的一侧，用于保护所述镀膜基层以及底镀膜层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州辉钻纳米新材料有限公司 基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料

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