申请/专利权人：欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔

申请日：2021-09-30

公开（公告）日：2023-07-18

公开（公告）号：CN116457494A

主分类号：C23C14/00

分类号：C23C14/00

优先权：["20200930 DE 102020005956.2"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.10.17#实质审查的生效;2023.07.18#公开

摘要：本发明涉及涂层及其生产方法，其中所述涂层包含Al、Cr和N作为主要组分，并具有根据式AlaCrbxOyCzNq的关于这些元素的按原子百分比计的化学元素组成，其中a和b分别为铝和铬的原子比浓度，仅考虑Al和Cr以计算所述层中的元素组成，其中a+b＝1且0≠a≥0.7且0≠b≥0.2，且其中x为Al的浓度与Cr的浓度之和，且y、z和q分别为氧、碳和氮的原子比浓度，仅考虑Al、Cr、O、C和N以计算所述层中的元素组成，其中x+y+z+q＝1且0.45≤x≤0.55，0≤y≤0.25，0≤z≤0.25，并且其中所述涂层表现出90％或更多的fcc立方相，和2.5GPa或更大，优选2.5GPa至6GPa的压缩应力。

主权项：1.用于生产经涂布的基材的方法，其包括在基材表面上沉积至少一个涂层，其特征在于：●在真空涂布室内部，通过使用反应性PVD阴极电弧蒸发技术合成所述至少一个涂层，其中：-将氮气引入真空涂布室中用作反应性气体，-使用至少一个电弧蒸发源，其包括作为阴极操作的靶材料以蒸发靶材料，-靶材料由Al和Cr组成或包含Al和Cr作为主要组分，其中如果仅考虑靶材料中的Al和Cr的原子百分比含量，靶材料中Al[原子％]Cr[原子％]之比大于7030，优选7030＞Al[原子％]Cr[原子％]≥9010，-所述方法包括来自靶材料的铝和铬与涂布室中包含的氮气之间的反应导致的氮化铝铬的反应性沉积，-如下进行氮化铝铬的反应性沉积i.在180℃至600℃，优选200℃至500℃的沉积温度下，ii.在0.1Pa至9Pa、优选0.2Pa至8Pa、更优选0.6Pa至7.5Pa的氮气分压下，iii.通过使用对应于-250V≤Ub≤-30V的范围内，优选对应于-200V≤Ub≤-40V的范围内的偏压Ub，iv.所形成的涂层：a.包含Al、Cr和N作为仅有组分或作为主要组分，并具有根据式AlaCrbxOyCzNq的关于这些元素的按原子百分比计的化学元素组成，其中a和b分别为铝和铬的原子比浓度，仅考虑Al和Cr以计算所述层中的元素组成，其中a+b＝1且82≥a≥＞0.7且0≠b≥0.18，且其中x为Al的浓度与Cr的浓度之和，且y、z和q分别为氧、碳和氮的原子比浓度，仅考虑Al、Cr、O、C和N以计算所述层中的元素组成，其中x+y+z+q＝1且0.45≤x≤0.55，0≤y≤0.25，0≤z≤0.25，b.表现出90％或更多的fcc立方相，和c.2.5GPa或更大，优选2.5GPa至6GPa的压缩应力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔 通过PVD由金属靶产生的富Al的AlCrN涂层

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