申请/专利权人：天合光能(宿迁)光电有限公司;天合光能股份有限公司

申请日：2023-08-01

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220825582U

主分类号：B23K26/362

分类号：B23K26/362;B23K26/12;B23K26/70

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本申请涉及一种富氧激光加工装置及光伏电池生产线。富氧激光加工装置包括外罩、加工台面及激光光源，外罩内部具有能够密闭的腔室，外罩的至少顶部对激光透明，外罩还设有与腔室连通的进气口和除尘抽风口，进气口连通供氧装置，除尘抽风口连通抽吸除尘装置；加工台面设于腔室内；激光光源能够向加工台面发射激光。本申请的富氧激光加工装置，通过至少顶部透明的外罩，并在激光加工期间提供氧气，形成富氧氛围，硅片表面有更多的氧离子，更容易生成二氧化硅层，且质量较高，二氧化硅的生长速度较快，可以生成更厚的二氧化硅层，同时可以降低激光峰值能量密度，减少对多晶硅层的刻蚀，降低激光对电池的损伤，避免影响电池效率，提升生产质量。

主权项：1.一种富氧激光加工装置，其特征在于，包括：外罩，内部具有能够密闭的腔室，所述外罩的至少顶部对激光透明，所述外罩还设有与所述腔室连通的进气口和除尘抽风口，所述进气口连通供氧装置，所述除尘抽风口连通抽吸除尘装置；加工台面，设于所述腔室内；以及激光光源，能够向所述加工台面发射激光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天合光能(宿迁)光电有限公司;天合光能股份有限公司 富氧激光加工装置和光伏电池生产线

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