申请/专利权人：上海应用技术大学;上海应沭电机科技有限公司

申请日：2022-03-02

公开（公告）日：2023-08-04

公开（公告）号：CN114672763B

主分类号：C23C14/02

分类号：C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.04#授权;2022.07.15#实质审查的生效;2022.06.28#公开

摘要：本发明涉及一种提高金属陶瓷表面AlCrN涂层附着力的方法，该方法包括以下步骤：1将金属陶瓷试样表面进行酸洗，使试样表面的晶粒暴露，然后将酸洗好的金属陶瓷试样洗涤后烘干；2将试样放置于阴极电弧离子镀设备炉腔内自转，并将炉腔抽至本底真空1×10‑3Pa，在金属陶瓷试样表面沉积Cr打底层；3在Cr打底层上沉积Cr层；4在Cr层上依次沉积CrN层和AlCrN层，完成金属陶瓷表面AlCrN涂层的附着。与现有技术相比，本发明的梯度复合涂层与基体具有良好的结合强度。

主权项：1.一种提高金属陶瓷表面AlCrN涂层附着力的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：（1）将金属陶瓷试样表面进行酸洗，使试样表面的晶粒暴露，然后将酸洗好的金属陶瓷试样洗涤后烘干；（2）将试样放置于阴极电弧离子镀设备炉腔内自转，并将炉腔抽至本底真空1×10-3Pa，在金属陶瓷试样表面沉积Cr打底层；沉积Cr打底层的具体步骤为：向炉腔内通入氩气，在-600~-700V偏压下刻蚀金属陶瓷基体10-15min；将Cr靶接入140-170A的电流，在-100~-150V偏压下在试样表面沉积100nmCr打底层；（3）在Cr打底层上沉积Cr层；沉积Cr层的具体步骤为：向炉腔内通入氩气，在-180~-200V偏压下刻蚀5-10min；将Cr靶接入100-120A电流，-50~-110V偏压下沉积200nmCr层；（4）在Cr层上依次沉积CrN层和AlCrN层，完成金属陶瓷表面AlCrN涂层的附着；所述酸洗的过程为：将金属陶瓷试样置于12-18wt%甲醇溶液、30-37wt%的浓盐酸和65-85wt%氯化铁混合均匀的溶液中，于密闭反应池内持续反应；所述甲醇溶液、浓盐酸和氯化铁的用量比为70-90ml:15-25ml:0.15-0.25g，所述反应的温度为90-100℃，时间为20-30min；沉积CrN层和AlCrN层的具体步骤为：关闭氩气，并向炉腔内通入130-150sccm的氮气，Cr靶接入100-140A电流，沉积CrN层；AlCr靶接入100-140A电流沉积AlCrN层。

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权利要求：

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