申请/专利权人：应用材料股份有限公司

申请日：2020-02-14

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN211507564U

主分类号：H01J37/147(20060101)

分类号：H01J37/147(20060101);H01J37/317(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：["20190919 US 16/575,969"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.15#授权

摘要：本实用新型提供一种用于静电过滤器的电极。在一些实施例中，系统可包含接收离子束的静电过滤器，静电过滤器包含安置在离子束线的相对侧的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极中的每一个具有位于第一端与第二端之间的中心区域，其中第一电极的第一外表面与第二电极的第二外表面之间的距离沿着在第一端与第二端之间延伸的电极纵轴变化。系统可进一步包含与静电过滤器连通的电源，电源可操作以向第一电极和第二电极供应电压和电流，其中第一外表面与第二外表面之间的可变距离引起离子束会聚或发散。

主权项：1.一种用于静电过滤器的电极，其特征在于，所述电极包括：第一端及第二端，所述第一端与所述第二端相对；以及中心区域，位于所述第一端与所述第二端之间，其中所述中心区域的中心直径与所述第一端的第一端直径和所述第二端的第二端直径不同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料股份有限公司 用于静电过滤器的电极

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