申请/专利权人：富士胶片株式会社

申请日：2019-01-17

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111670359A

主分类号：G01N23/223(20060101)

分类号：G01N23/223(20060101);G01N23/2202(20060101)

优先权：["20180131 JP 2018-015091"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.10#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本发明的课题在于提供一种在将受检体尤其金属杂质的含量少的受检体涂布于基板上而测量基板上的每单位面积的金属杂质量时，也能够轻松地得到准确的测量结果的分析方法、药液及药液的制造方法。本发明的分析方法包括工序A，以规定倍率浓缩包含至少一种有机溶剂和含有金属原子的金属杂质的受检体而得到浓缩液；工序B，将浓缩液涂布于基板上而得到经涂布的基板；及工序C，利用全反射荧光X射线分析法，测量经涂布的基板上的每单位面积的金属原子数而得到测量值。

主权项：1.一种分析方法，其包括：工序A，以规定倍率浓缩包含至少一种有机溶剂和含有金属原子的金属杂质的受检体而得到浓缩液；工序B，将所述浓缩液涂布于基板上而得到经涂布的基板；及工序C，利用全反射荧光X射线分析法，测量所述经涂布的基板上的每单位面积的所述金属原子数而得到测量值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 富士胶片株式会社 分析方法、药液及药液的制造方法

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