申请/专利权人：周星工程股份有限公司

申请日：2019-02-07

公开（公告）日：2020-09-18

公开（公告）号：CN111684568A

主分类号：H01L21/02(20060101)

分类号：H01L21/02(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：["20180208 KR 10-2018-0015852","20190131 KR 10-2019-0013071"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.02#实质审查的生效;2020.09.18#公开

摘要：本发明是关于用于清洁腔室的一种装置和方法，尤其是关于用于清洁腔室的装置和方法，其中此装置和方法能够在薄膜沉积于基板时清洁被污染的腔室。根据示例性实施例的腔室清洁方法为一种用于清洁沉积氧化锌的腔室的方法，此方法包含：供应含氯气体和含氢气体到腔室中；使独立供应的气体于腔室中活化并互相反应以产生反应气体；以及使用反应气体第一次清洁腔室。

主权项：1.一种用于清洁沉积氧化锌的腔室的腔室清洁方法，所述方法包含：供应含氯气体和含氢气体到所述腔室中；使独立供应的所述含氯气体和所述含氢气体在所述腔室中活化并彼此反应，以产生反应气体；以及使用所述反应气体第一次清洁所述腔室。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 周星工程股份有限公司 清洁腔室的装置和方法

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