申请/专利权人：株式会社村田制作所

申请日：2016-02-16

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN107431471B

主分类号：H03H9/145(20060101)

分类号：H03H9/145(20060101);H03H9/64(20060101);H03H9/72(20060101)

优先权：["20150327 JP 2015-066849"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.13#授权;2017.12.26#实质审查的生效;2017.12.01#公开

摘要：提供不增大IDT电极的面积就能充分抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器。弹性波谐振器1具备压电基板2以及IDT电极3，IDT电极3具有第1电极指3a和与第1电极指3a邻接的第2电极指3b，在将第1电极指3a的宽度设为W1，将第2电极指3b的宽度设为W2，将第1电极指3a与第2电极指3b的电极指中心间距离即间距设为L时，第1电极指3a的金属化比W1L小于第2电极指3b的金属化比W2L，第1以及第2电极指3a、3b的金属化比之和W1L+W2L为0.65以上、1.00以下且第1以及第2电极指3a、3b的宽度之比W2W1为1.12以上、2.33以下，或者W1L+W2L大于1.00且W2W1为1.40以上、2.34以下。

主权项：1.一种弹性波谐振器，具备：压电基板；和形成于所述压电基板上的IDT电极，所述IDT电极具有第1电极指和与该第1电极指在弹性波传播方向上相邻的第2电极指，将沿着弹性波传播方向的所述第1电极指的宽度设为W1，将沿着弹性波传播方向的所述第2电极指的宽度设为W2，将所述第1电极指与所述第2电极指的电极指中心间距离即间距设为L，这时，所述第1电极指的金属化比W1L小于所述第2电极指的金属化比W2L，所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之和W1L+W2L为0.65以上且1.00以下，且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比W2W1为1.12以上且2.33以下；或者，所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之和W1L+W2L大于1.00，且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比W2W1为1.40以上且2.34以下。

全文数据：弹性波谐振器、弹性波滤波器以及双工器技术领域[0001]本发明涉及在压电基板上设有IDT电极的弹性波谐振器和具备该弹性波谐振器的弹性波滤波器以及双工器。背景技术[0002]过去，作为构成用在便携电话机等中的带通滤波器的谐振器而广泛运用弹性波谐振器。例如在下述专利文献1中公开了一种弹性波谐振器，其具备压电基板和设于该压电基板上的IDT电极。在专利文献1中示出在IDT电极内周期性配置宽度不同的电极指的结构。[0003]现有技术文献[0004]专利文献[0005]专利文献1:JP特开平2-127809号公报发明内容[0006]发明要解决的课题[0007]但如专利文献1的弹性波谐振器那样，即使是在IDT电极内周期性配置宽度不同的电极指的情况下，根据不同的电极指的宽度的值，有时不能使非线性信号充分小。为此在将专利文献1的弹性波谐振器用在双工器的发送滤波器中的情况下，双工器的接收频带的噪声变大，有时接收灵敏度会降低。[0008]本发明的目的在于，提供不用增大IDT电极的面积就能充分抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器。[0009]本发明的其他目的在于，提供具备上述弹性波谐振器的弹性波滤波器以及双工器。[0010]用于解决课题的手段[0011]本发明所涉及的弹性波谐振器具备压电基板和形成于所述压电基板上的IDT电极，所述IDT电极具有第1电极指和与该第1电极指在弹性波传播方向上邻接的第2电极指，将沿着弹性波传播方向的所述第1电极指的宽度设为W1，将沿着弹性波传播方向的所述第2电极指的宽度设为W2,将所述第1电极指与所述第2电极指的电极指中心间距离即间距设为L，这时，所述第1电极指的金属化比W1A小于所述第2电极指的金属化比W2L，所述第1以及第2电极指的金属化比之和WiL+WVL为0.65以上、1.00以下且所述第1以及第2电极指的宽度之比W2M为1.12以上、2.33以下，或者，所述第1以及第2电极指的金属化比之和1L+W2L大于1.00且所述第1以及第2电极指的宽度之比W2M为1.40以上、2.34以下。[0012]在本发明所涉及的弹性波谐振器的某特定的局面中，所述第1以及第2电极指的金属化比之和WiL+WVL大于0.70、1.00以下，且所述第1以及第2电极指的宽度之比W2A1为1.14以上、2.33以下;或者，所述第1以及第2电极指的金属化比之和WiL+WVL大于1.00且所述第1以及第2电极指的宽度之比WVW1为1.4以上、2.34以下。在该情况下，能谋求小型化并抑制非线性信号的产生。[0013]在本发明所涉及的弹性波谐振器的另外特定的局面中，所述IDT电极具有多条所述第1电极指和多条所述第2电极指，在弹性波传播方向上，所述第1电极指和所述第2电极指交替配置。[0014]在本发明所涉及的弹性波谐振器的其他特定的局面中，所述IDT电极具有多条所述第1电极指和多条所述第2电极指，在弹性波传播方向上，彼此相邻的2条所述第1电极指和彼此相邻的2条所述第2电极指交替配置。[0015]本发明所涉及的弹性波滤波器具有多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是遵循上述本发明构成的弹性波谐振器。[0016]本发明所涉及的双工器具有多个弹性波谐振器，并具备带通型的第1滤波器和通带与所述第1滤波器不同的第2滤波器，所述第1以及第2滤波器的至少一方的多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是遵循上述本发明构成弹性波谐振器。[0017]发明的效果[0018]在本发明所涉及的弹性波谐振器中，如上述那样，第1以及第2电极指的金属化比和第1以及第2电极指的宽度之比限定在特定的范围。为此，根据本发明的弹性波谐振器，不用增大IDT电极的面积就能充分地抑制非线性信号的产生。附图说明[0019]图1是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的示意俯视图。[0020]图2是在本发明的第1实施方式所涉及的弹性波装置中放大表示第1以及第2电极指相邻的部分的示意主视截面图。[0021]图3是表示在实验例制作的弹性波装置的3次谐波特性的图。[0022]图4是表示在实验例制作的弹性波装置的3次IMD特性的图。[0023]图5是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的示意俯视图。[0024]图6是表示第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的3次谐波特性的图。[0025]图7是表示第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的3次頂D特性的图。[0026]图8是表示第1以及第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的2次谐波特性的图。[0027]图9是本发明的1个实施方式所涉及的双工器的概略电路图。具体实施方式[0028]以下参考附图来说明本发明的具体的实施方式，由此使本发明变得明了。[0029]另外指出，本说明书所记载的各实施方式都是例示，在不同的实施方式间能进行构成的部分的置换或组合。[0030][弹性波谐振器][0031]第丨实施方式）[0032]图1是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的示意俯视图。另外，图2是在本发明的第1实施方式所涉及的弹性波装置中放大表示第1以及第2电极指相邻的部分的示意主视截面图。[0033]弹性波谐振器1具有压电基板2。压电基板2是由LiTaO3构成的基板。另外，作为压电基板2,既可以使用由LiNbO3等其他压电单晶构成的基板，也可以使用由压电陶瓷构成的基板。[0034]如图1所示那样，在压电基板2上形成IDT电极3和配置于IDT电极3的弹性波传播方向两侧的反射器4、5。由此构成单端口型的弹性波谐振器。[0035]IDT电极3由六1、：11、附、11^附0或六1：11等适宜的金属或包含这些金属当中的至少1种的合金构成。IDT电极3既可以是单层的金属膜，也可以是层叠2种以上的金属或合金的层叠金属膜。[0036]IDT电极3具有多条第1电极指3a、多条第2电极指3b和第1以及第2汇流条3c、3d。[0037]多条第1电极指3a和多条第2电极指3b在弹性波传播方向上交替配置。另外，弹性波传播方向是与电极指延伸的方向正交的方向。[0038]在本实施方式中，多条第1电极指3a和多条第2电极指3b相互交替插入。多条第1电极指3a的一端与第1汇流条3c连接。多条第2电极指3b的一端与第2汇流条3d连接。[0039]在本实施方式中，IDT电极3仅具有第1以及第2电极指3a、3b，而没有其他电极指。但在本发明中，只要IDT电极3内至少一部分电极指是第1以及第2电极指3a、3b即可。即，在弹性波传播方向上，在至少一部分设置交替配置第1以及第2电极指3a、3b的区域即可。[0040]在本发明中，优选电极指整体的50%以上构成交替配置上述第1以及第2电极指3a、3b的区域。另外，优选如本实施方式那样，全部第1以及第2电极指3a、3b在弹性波传播方向上交替配置。第1以及第2电极指3a、3b交替配置的区域所占的比例越大，就越能进一步有效果地抑制后述的非线性信号的产生。[0041]第1电极指3a的金属化比小于第2电极指3b的金属化比。[0042]如图2所示那样，若将第1电极指3a的宽度设为W1，将第1电极指3a与第2电极指3b的电极指中心间距离即间距设为L，则第1电极指3a的金属化比以W1!表征。另外，若将第2电极指3b的宽度设为W2，则第2电极指3b的金属化比以W2L表征。另外,W1小于W2。[0043]在本实施方式中，第1以及第2电极指3a、3b的金属化比之和WiL+WVL为0.65以上、1.00以下，且第1以及第2电极指3a、3b的宽度之比W2M为1.12以上、2.33以下。[0044]或者1L+W2L大于1.00且恥^为1.40以上、2.34以下。[0045]在本发明中，通过将金属化比之和WiL+WsL以及电极指宽度之比W2M设为上述范围内，且设SW1ZKW2!,能充分抑制非线性信号的产生。以下参考实验例对其详细说明。[0046]实验例；[0047]在实验例中，在以下所示的条件下制作单端口型的弹性波谐振器1。另外，在实验例中，制作基模的谐振频率为839MHz的弹性波谐振器1。[0048]压电基板2:42°YX-LiTa03[0049]IDT电极3:TiAlCu按照Ti、AlCu的顺序层叠）[0050]电极指的对数:80对[0051]在实验例中，使第1以及第2电极指3a、3b的金属化比即W1!以及W2L如表1所示那样在0.3〜0.7的范围内变化来制作样本。具体地，改变W1!以及W2L的组合来制作表1所示的样本Al〜A8、B1〜B7、C1〜C6、D1〜D5、E1〜E4、F1〜F3、G1〜G2以及H1。[0052][表1][0053][0054]调整波长以及交叉宽度，以使各样本的特性同等。将调整过的各样本的波长在表2示出，将各样本的交叉宽度在表3示出。另外，将各样本中的电极指的宽度之比WVW1在表4示出，将金属化比之和WiL+WsL在表5示出。另外，随着表5的金属化比之和WVL+W2L的值变大，IDT电极3的面积变小。这是因为，金属化比越大则每1条电极指的静电容就越大，为了在同等的阻抗下设计IDT电极3而需要减小交叉宽度。[0063]在本实验例中，使各样本的WiL以及W2L变化，测定3次谐波thirdharmonic的峰值。将结果在表6示出。另外，表6的值全都是相同阻抗，调整IDT电极3的波长以及交叉宽度来使在各个样本中成为同等特性。另外，将满MW1A=W2!的样本设为基准样本表1中的A1、B1、C1、D1、E1、F1、G1、H1。[0066]根据表5以及表6可知，在与IDT电极的面积比该样本自身更小的基准样本进行比较的情况下，WiL+WVL与基准样本比较而成为同等以上，且满SW1A^W2!以及W1ZKW2L，在满足上述条件的下述的样本中，无论与哪个基准样本比较，3次谐波的峰值都得到了改善。[0067]具体可知，在表1所示的A2〜A8、B2〜B7、C2〜C6以及D3、D5以及E4的样本中，不管与哪个基准样本比较，都改善了3次谐波的峰值。[0068]S卩，可知为0.65以上、1.00以下、1211为1.12以上、2.33以下且满足1LW2L的样本中，无论与哪个基准样本比较，3次谐波的峰值都得到改善。[0069]或者，在111+121大于1.00且1211为1.40以上2.34以下、且满足111121的样本中，无论与哪个基准样本比较，3次谐波的峰值都得到改善。[0070]图3是表示在实验例制作的弹性波装置的3次谐波特性的图。图中、实线表示表1中的B5W1A=O.35、W2L=0.55的结果。另外，虚线表示表1中的DlW1A=W2A=O.45的结果。[0071]根据图3可知，B5与Dl的基准样本比较，3次谐波的峰值频率：2580MHz附近的峰值改善了约5dB。[0072]图4是表示实验例中制作的弹性波装置的3次IMD特性的图。图中、实线表示表1中的B5W1A=O.35、W2L=0.55的结果。另外，虚线表示表1中的DlW1A=W2A=O.45的结果。[0073]根据图4可知，B5与Dl的基准样本比较，3次MD的电平频率:870〜895MHz的频率带中的3次頂D改善了约1〜5dB。虽然在875MHz下与基准样本相比3次MD的电平变差，但这是次阶模的影响，而不是本质的问题。另外，若关注峰值，则根据图4，B5与Dl的基准样本相比，3次頂D的峰顶电平881MHz近旁改善了约4dB。[0074]如此，就算B5和Dl的基准样本的金属化比之和相当，S卩IDT电极3的面积相等，也能在特性的改善效果中看到差异。[0075]在如B5那样电极指的宽度不同的情况下，在各电极指产生的非线性信号的相位不同，会出现抵消，因此认为降低了非线性信号的电平。[0076]回到表6,可知在表1所示的A4〜A8、B2〜B7、C3〜C6、D3、D5以及E4的样本中，与WiL+W2L同等或小的基准样本相比，3次谐波的峰值得到改善。[0077]BP，可知在1L+W2L大于0.7且1.00以下、W2MSl.14以上2.33以下且满足W2L的样本中，与1L+W2L同等或更小的基准样本相比，3次谐波的峰值得到改善。[0078]或者，可知在％!+%!大于1·00且W2MSl·40以上2·34以下，并且满足W1ZKW2L的样本中，与1L+W2L同等或更小的基准样本相比，3次谐波的峰值得到改善。[0079]例如AMW1A=OlW2A=O.45与基准样本BIW1A=W2A=O.35相比，3次谐波的峰值改善了约1.1dB。[0080]由于WiL+WsL越大则IDT电极3的面积越小，因此可知在A4中，就算面积小于基准样本即Bl的面积，3次谐波的峰值也得到改善。[0081]另外可知，E4WiL=0.5、W2L=0.7与基准样本GlWiL=W2L=0.6相比，3次谐波的峰值改善了约1.8dB。可知在E4中，就算面积与基准样本即Gl的面积同等，3次谐波的峰值也得到改善。[0082]因而通过将1L+W2L以及WVW1W1ZKW2!设为上述范围内，能在不招致大型化的情况下，充分抑制非线性信号的产生。[0083]因而在本发明中，优选将111+121设为大于0.70且1.00以下，且将W2ZiW1W1!^121设为1.14以上2.33以下。或者优选，111+121大于1.00，且将1211设为1.40以上、2.34以下。[0084]第2实施方式）[0085]图5是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的示意俯视图。如图5所示那样，在弹性波谐振器21中，在弹性波传播方向上交替配置相邻的2条第1电极指3a、3a、和相邻的2条所述第2电极指3b、3b。[0086]多条第1电极指3a和多条第1或第2电极指3a、3b相互交替插入。在第1汇流条3c连接多条第1或第2电极指3a、3b。在在第2汇流条3d连接多条第1或第2电极指3a、3b。[0087]在弹性波谐振器21中，全部电极指都由相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b构成。相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b在弹性波传播方向上交替配置。[0088]但在本发明中，只要在IDT电极3内的至少一部分具有交替周期性配置相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b的区域即可。[0089]在本发明中，优选电极指整体为50%以上的电极指由相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b构成。更优选如本实施方式那样，全部电极指都由相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b构成。这样的电极指的比例越大，就越能更进一步确实地抑制后述的非线性信号的产生。其他点与第1实施方式同样。[0090]在弹性波谐振器21中，第1电极指3a的金属化比W1!也小于第2电极指3b的金属化比W2L。另外KW2。[0091]进而第1以及第2电极指3a、3b的金属化比之和WiL+WVL为0.65以上、1.00以下，且第1以及第2电极指3a、3b的宽度之比W2M为1.12以上、2.33以下。[0092]或者111+121大于1.00且1211为1.40以上、2.34以下。为此在弹性波谐振器21中也能充分抑制非线性信号的产生。[0093]另外，优选将％!+?〗!设为大于0.70、1.00以下，且将W2M设为1.14以上、2.33以下。由此，不会招致大型化就能充分抑制非线性信号的产生。[0094]图6是表示第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的3次谐波特性的图。图中，实线表示在弹性波谐振器21中·!=。.35且121=0.55时的结果。另外，虚线表示在弹性波谐振器21中11=%1=0.45时的结果。[0095]根据图6可知，在W1A=O.35且W2L=0.55时，与第1实施方式同样，与W1A=W2!=0.45的基准样本比较，3次谐波的峰值频率2580MHz附近的峰值改善了约2dB。[0096]图7是表示第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的3次MD特性的图。图中，实线表示在弹性波谐振器21中·!=。.35且121=0.55时的结果。另外，虚线表示在弹性波谐振器21中11=%1=0.45时的结果。[0097]根据图7可知，在W1A=O.35且W2L=0.55时，与W1A=W2A=O.45的基准样本相比，3次頂D的电平频率:870〜895MHz下的3次頂D改善了约1〜5dB。虽然在875MHz下与基准样本相比3次IMD的电平变差，但这是次阶模的影响，而不是本质的问题。另外，若关注峰值，则根据图7可知，与基准样本相比3次頂D的峰顶电平频率:881MHz近旁改善了约4dB。[0098]图8是表示第1以及第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的2次谐波特性的图。图中，实线表示在弹性波谐振器21中W1Zl=O.35且W2L=0.55时的结果。另外，虚线表示在弹性波谐振器1中·!=。.35且121=0.55时的结果。[0099]在弹性波谐振器21中，可知与弹性波谐振器1相比，2次谐波的峰值频率：1600〜1800MHz的范围的峰值更加进一步得到改善。这是因为，在弹性波谐振器21中，通过使第1以及第2电极指3a、3b平衡地与第1以及第2汇流条3c、3d连接而提升了电对称性。[0100][弹性波滤波器以及双工器][0101]图9是本发明的1个实施方式所涉及的双工器的概略电路图。本实施方式所涉及的双工器具有与天线8公共连接的第1滤波器9和第2滤波器10。[0102]第1滤波器9是带通型的发送滤波器。第1滤波器9是梯型滤波器。第1滤波器9具有发送端子即输入端子12a和输出端子12b。[0103]在连结输入端子12a和输出端子12b的串联臂，配置多个串联臂谐振器Sl〜S4。在串联臂谐振器Sl与串联臂谐振器S2之间的连接点和接地电位之间连接并联臂谐振器P1。在串联臂谐振器S3与串联臂谐振器S4之间的连接点和接地电位之间连接并联臂谐振器P2。[0104]第2滤波器10是与第1滤波器9通带不同的接收滤波器。第2滤波器10具有纵耦合谐振器型的弹性波滤波器14。[0105]第2滤波器10具有输入端子13a和作为接收端子的输出端子13b。在输入端子13a与纵耦合谐振器型的弹性波滤波器14之间连接弹性波谐振器11。输入端子13a经由与输出端子12b的公共连接点与天线8连接。另外，在本发明中，作为第1、第2滤波器中所用的滤波器，可以分别使用梯型滤波器、纵耦合谐振器型滤波器、格型滤波器等。[0106]在双工器中，在发送滤波器中，若在弹性波谐振器产生大的非线性信号，则接收滤波器的接收频带的噪声就会变大，从而接收灵敏度易于降低。[0107]与此相对，在本实施方式中，第1滤波器9的全部谐振器都是上述的本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器1。由此能抑制第1滤波器9的全部谐振器中的非线性信号的产生，能抑制第2滤波器10的接收频带的噪声变大。因此本实施方式所涉及的双工器的接收灵敏度难以降低。[0108]然而在本发明中，只要构成弹性波滤波器的多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是遵循本发明构成的弹性波谐振器即可。[0109]另外，在本发明所涉及的双工器中，在具有通带相互不同的发送滤波器以及接收滤波器的情况下，只要发送滤波器的至少1个弹性波谐振器是遵循本发明构成的弹性波谐振器即可。由此能抑制双工器的接收频带的噪声，能抑制接收灵敏度的降低。从更进一步抑制接收灵敏度的降低的观点出发，优选如图9中的串联臂谐振器S4那样，与接收滤波器即第2滤波器直接连接的谐振器是本发明的弹性波谐振器。[0110]标号的说明[0111]1、11、21弹性波谐振器[0112]2压电基板[0113]3IDT电极[0114]3A、3b第1、第2电极指[0115]3C、3d第1、第2汇流条[0116]4、5反射器[0117]8天线[0118]9第1滤波器[0119]10第2滤波器[0120]12a、13a输入端子[0121]12b、13b输出端子[0122]14纵耦合谐振器型的弹性波滤波器[0123]Sl〜S4串联臂谐振器[0124]P1、P2并联臂谐振器

权利要求：1.一种弹性波谐振器，具备：压电基板;和形成于所述压电基板上的IDT电极，所述IDT电极具有第1电极指和与该第1电极指在弹性波传播方向上相邻的第2电极指，将沿着弹性波传播方向的所述第1电极指的宽度设为W1，将沿着弹性波传播方向的所述第2电极指的宽度设为W2,将所述第1电极指与所述第2电极指的电极指中心间距离即间距设为L，这时，所述第1电极指的金属化比W1!小于所述第2电极指的金属化比W2L，所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之为0.65以上且1.00以下，且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比W2MSl.12以上且2.33以下;或者，所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之大于1.00,且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比恥^为1.40以上且2.34以下。2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其中，所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之大于0.70且为1.00以下，且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比W2MSl.14以上且2.33以下;或者，所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之大于1.00,且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比恥^为1.40以上且2.34以下。3.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，所述IDT电极具有多条所述第1电极指和多条所述第2电极指，在弹性波传播方向上，所述第1电极指和所述第2电极指交替配置。4.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，所述IDT电极具有多条所述第1电极指和多条所述第2电极指，在弹性波传播方向上，彼此相邻的2条所述第1电极指和彼此相邻的2条所述第2电极指交替配置。5.—种弹性波滤波器，具有多个弹性波谐振器，其中，所述多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是权利要求1〜4中任一项所述的弹性波谐振器。6.—种双工器，具有多个弹性波谐振器，并具备带通型的第1滤波器和通带与所述第1滤波器不同的第2滤波器，其中，所述第1滤波器以及第2滤波器的至少一方的多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是权利要求1〜4中任一项所述的弹性波谐振器。

百度查询： 株式会社村田制作所 弹性波谐振器、弹性波滤波器以及双工器

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