申请/专利权人:韩国基础科学支援研究院
申请日:2019-02-13
公开(公告)日:2020-10-20
公开(公告)号:CN111801784A
主分类号:H01L21/67(20060101)
分类号:H01L21/67(20060101);H01L21/3065(20060101);H01J37/32(20060101);H05H1/46(20060101)
优先权:["20180213 KR 10-2018-0017914"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2020.11.06#实质审查的生效;2020.10.20#公开
摘要:公开了一种利用环形沿面放电等离子装置的点状蚀刻模块。利用所述环形沿面放电等离子装置的点状蚀刻模块,包括:板状的电介质;圆形电极,与所述电介质的上面接触配置;环形电极,与所述电介质的下面接触配置,并提供用于容纳气体的气体容纳空间;以及供电部,用于向所述圆形电极和环形电极之间施加高电压,施加高电压而开始放电时,从在所述环形电极的内侧面和所述电介质的下面之间向所述环形电极的中心方向展开的等离子向待处理基板的方向照射丝状等离子。
主权项:1.一种利用环形沿面放电等离子装置的点状蚀刻模块,其特征在于,包括:板状电介质;圆形电极,与所述电介质的上面面接触配置;环形电极,与所述电介质的下面面接触配置,提供用于容纳气体的气体容纳空间;以及供电部,用于向所述圆形电极和环形电极之间施加高电压,当施加高电压而开始放电时,从在所述环形电极的内侧面与所述电介质的下面之间向所述环形电极的中心方向展开的等离子向待处理基板的方向照射丝状等离子。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 韩国基础科学支援研究院 利用环形沿面放电等离子装置的点状蚀刻模块以及点状蚀刻模块的蚀刻轮廓的控制方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。