申请/专利权人：珠海市裕洲环保科技有限公司

申请日：2023-11-21

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888109A

主分类号：C23F1/28

分类号：C23F1/28;C23F1/26;C23F1/44;H05K3/06

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明属于金属蚀刻技术领域，公开了一种金属蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法。该金属蚀刻液，按重量份数计，包括氯化物5‑12份、有机酸1‑5份、无机酸2‑6份、氧化剂0.1‑2份、复合添加剂1‑6份、水80‑200份；复合添加剂包括N‑月桂基氮杂环庚烷‑2‑酮，以及聚氧乙烯脂肪醇醚、脂肪酸聚氧乙烯醚硫酸钠中的至少一种；有机酸包括氨基酸，以及邻苯二甲酸、均苯三甲酸中的至少一种。该金属蚀刻液，即使针对镍含量波动范围为55％至85％的镍铬合金，对应的蚀刻速度变化也很小，且蚀刻效率高，对铜也几乎不腐蚀，有利于工业蚀刻工艺的控制，有助于提高生产效率。

主权项：1.一种金属蚀刻液，其特征在于，按重量份数计，包括氯化物5-12份、有机酸1-5份、无机酸2-6份、氧化剂0.1-2份、复合添加剂1-6份、水80-200份；所述复合添加剂包括N-月桂基氮杂环庚烷-2-酮，以及聚氧乙烯脂肪醇醚、脂肪酸聚氧乙烯醚硫酸钠中的至少一种；所述有机酸包括氨基酸，以及邻苯二甲酸、均苯三甲酸中的至少一种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 珠海市裕洲环保科技有限公司 一种金属蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法

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