申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2020-03-26

公开（公告）日：2020-10-20

公开（公告）号：CN111799397A

主分类号：H01L51/56(20060101)

分类号：H01L51/56(20060101);H01L21/67(20060101);H01L27/32(20060101);H01L51/52(20060101)

优先权：["20190402 KR 10-2019-0038620"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.04.08#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：提供了一种用于制造显示装置的设备和方法。用于制造显示装置的设备包括：第一单元，配置成去除支承衬底的杂质；第二单元，配置成在支承衬底上形成牺牲层；第三单元，配置成在牺牲层上形成柔性衬底；以及第四单元，配置成在柔性衬底上形成显示单元。第二单元包括：移动单元，能够在第一方向上移动以接收支承衬底；第一供给喷嘴，配置成将溶液喷射到支承衬底上以涂覆氧化石墨烯层；以及第二供给喷嘴，配置成干燥涂覆在支承衬底上的氧化石墨烯层，同时去除氧化石墨烯层的一部分以形成牺牲层。

主权项：1.用于制造显示装置的设备，包括：第一单元，配置成去除支承衬底的杂质；第二单元，配置成在所述支承衬底上形成牺牲层；第三单元，配置成在所述牺牲层上形成柔性衬底；以及第四单元，配置成在所述柔性衬底上形成显示单元，其中，所述第二单元包括：移动单元，能够在第一方向上移动以接收所述支承衬底；第一供给喷嘴，配置成将待通过范德华键合而键合至所述支承衬底的溶液喷射到所述支承衬底上以涂覆氧化石墨烯层；以及第二供给喷嘴，配置成干燥涂覆在所述支承衬底上的所述氧化石墨烯层，同时去除所述氧化石墨烯层的一部分，以形成所述牺牲层，其中，所述第一供给喷嘴和所述第二供给喷嘴彼此间隔开一定的距离并且彼此成直线联接，以及其中，所述第一供给喷嘴和所述第二供给喷嘴中的每一个包括具有15°至45°的注射角的注射端口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 用于制造显示装置的设备和方法

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