申请/专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司

申请日：2020-07-17

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111805412A

主分类号：B24B37/04(20120101)

分类号：B24B37/04(20120101);B24B37/26(20120101);B24B37/34(20120101);B24B47/00(20060101);B24B57/02(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.03.03#发明专利申请公布后的驳回;2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明提供了一种抛光液施配器及抛光装置，该抛光液施配器用于将抛光液施配到抛光垫上。其包括位于抛光垫上方的支臂、固定在支臂上且用于输送抛光液的输液管。还包括与输液管连通以向抛光垫表面喷洒抛光液的喷头。喷头与支臂转动连接，喷头相对支臂的转动方向与抛光垫的表面垂直。还包括驱动喷头相对支臂转动的驱动装置。通过采用喷头与支臂转动连接，驱动装置驱动喷头相对支臂转动，使喷头喷洒出的抛光液不仅具有直接下落的运行方式，还具有旋转的运动方式，提高抛光液喷洒在抛光垫表面的面积。使抛光液更快速的流入到抛光垫表面的微孔结构或沟槽结构内，减少抛光液被旋转的抛光垫甩出抛光垫的量，保证流入晶圆及抛光垫之间区域的抛光液的量。

主权项：1.一种抛光液施配器，用于将抛光液施配到抛光垫上，其特征在于，包括：位于所述抛光垫上方的支臂；固定在所述支臂上且用于输送抛光液的输液管；与所述输液管连通以向所述抛光垫表面喷洒抛光液的喷头；其中，所述喷头与所述支臂转动连接，且所述喷头相对所述支臂的转动方向与所述抛光垫的表面垂直；还包括：驱动所述喷头相对所述支臂转动的驱动装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司 一种抛光液施配器及抛光装置

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