申请/专利权人：AGC株式会社

申请日：2020-05-15

公开（公告）日：2020-11-17

公开（公告）号：CN111941282A

主分类号：B24B49/00(20120101)

分类号：B24B49/00(20120101);B24B7/24(20060101);G01N29/14(20060101)

优先权：["20190517 JP 2019-093864"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.18#实质审查的生效;2020.11.17#公开

摘要：提供能够高精度地检测针对被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置以及异常检测方法。具备：AE传感器61，其设置于对载置于上部的玻璃板G进行加工的抛光平台20，并经由介于AE传感器61与玻璃板G之间的浆液S来检测来自玻璃板G的弹性波；和异常检测部17，其基于来自AE传感器61的检测信号，来判定玻璃板G的异常的有无，AE传感器61配置在抛光平台20中的玻璃板G的载置位置的正下方。

主权项：1.一种异常检测装置，其特征在于，具备：AE传感器，其设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，并经由介于与所述被加工物之间的液体来检测来自所述被加工物的弹性波；和异常检测部，其基于来自所述AE传感器的检测信号，来判定所述被加工物有无异常，所述AE传感器配置在所述加工台中的所述被加工物的载置位置的正下方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： AGC株式会社 异常检测装置以及异常检测方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD