【发明公布】真空开闭阀_CKD株式会社_202010250831.X 

申请/专利权人:CKD株式会社

申请日:2020-04-01

发明/设计人:河野哲児郎

公开(公告)日:2020-11-24

代理机构:北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)

公开(公告)号:CN111981145A

代理人:桑传标

主分类号:F16K1/36(20060101)

地址:日本爱知

分类号:F16K1/36(20060101);F16K1/32(20060101);F16K27/02(20060101);F16K31/122(20060101);F16K37/00(20060101);F16K11/065(20060101);F16K31/06(20060101)

优先权:["20190522 JP 2019-095896"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.11.24#公开

摘要:本发明的目的在于提供一种能够抑制阀芯进行动作时产生的振动的真空开闭阀。本发明的真空开闭阀30配设在真空腔室11与真空泵15之间,通过提升阀芯33A的开闭动作来进行真空腔室的排气,具备真空压力控制装置70和伺服阀60,真空压力控制装置进行指定提升阀芯的开度的开度指示,伺服阀使阀芯动作到与开度指示所指定的开度相对应的位置,该真空开闭阀中,伺服阀进行使提升阀芯的位置在规定时间内从第一位置开度X1动作到第二位置开度X2的开度控制用的开度指示是指定与第一位置与第二位置之间的第三位置开度X3相对应的开度,之后从与第三位置相对应的开度逐渐变动到与第二位置相对应的开度。

主权项:1.一种真空开闭阀,其配设在真空腔室与真空泵之间,通过阀芯的开闭动作来进行所述真空腔室的排气,具备控制装置和控制阀,所述控制装置进行指定所述阀芯的开度的开度指示,所述控制阀使所述阀芯动作到与所述开度指示所指定的开度相对应的位置,该真空开闭阀的特征在于,所述控制阀进行使所述阀芯的位置在规定时间内从第一位置动作到第二位置的开度控制用的所述开度指示是指定与所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置相对应的开度,之后从与所述第三位置相对应的开度逐渐变动到与所述第二位置相对应的开度。

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