【发明公布】柔性面板及其制备方法_深圳市华星光电半导体显示技术有限公司_202010945370.8 

申请/专利权人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请日:2020-09-10

发明/设计人:刘方梅

公开(公告)日:2020-11-24

代理机构:深圳紫藤知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN111987137A

代理人:何辉

主分类号:H01L27/32(20060101)

地址:518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

分类号:H01L27/32(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.11.24#公开

摘要:本发明公开了一种柔性面板及其制备方法。柔性面板依次包括基板、薄膜晶体管层、以及有机发光二极管层。薄膜晶体管层包括薄膜晶体管,薄膜晶体管中源极、漏极和栅极为共平面结构。有机发光二极管层包括有机发光二极管。柔性面板的制备方法包括:在基板上方形成薄膜晶体管层,其中,薄膜晶体管层包括薄膜晶体管,薄膜晶体管中源极、漏极和栅极为共平面结构;在薄膜晶体管层上方形成有机发光二极管层,其中,有机发光二极管层包括有机发光二极管。柔性面板中,TFT采用源漏栅共平面结构,节省一道金属光罩,可减少一道金属M1层和M2层间隔绝层ILDCVD制程,节约成本;阻挡膜采用SiNx、SiOX和Al2O3叠层减少应力,改善翘曲。

主权项:1.一种柔性面板,其特征在于,依次包括基板、薄膜晶体管层、以及有机发光二极管层,其中,所述薄膜晶体管层包括薄膜晶体管,所述薄膜晶体管中源极、漏极和栅极为共平面结构,所述有机发光二极管层包括有机发光二极管。

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