申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2018-07-12

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN109249706B

主分类号：B41J2/175(20060101)

分类号：B41J2/175(20060101)

优先权：["20170714 JP 2017-138190","20180516 JP 2018-094398"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.05#授权;2019.08.09#实质审查的生效;2019.01.22#公开

摘要：一种流体收纳构件，其包括：第一收纳室，其收纳第一流体；以及第二收纳室，其收纳第二流体。所述第一收纳室和所述第二收纳室通过位于所述第一收纳室侧的第一分离膜和位于所述第二收纳室侧的第二分离膜彼此分离。所述第一分离膜和所述第二分离膜彼此部分地连接或者彼此部分地接触以根据所述第一收纳室的内压的改变或所述第二收纳室的内压的改变而连动。

主权项：1.一种流体收纳构件，其包括：第一收纳室，其收纳第一流体；以及第二收纳室，其收纳第二流体，其特征在于，所述第一收纳室和所述第二收纳室通过位于所述第一收纳室侧的第一分离膜和位于所述第二收纳室侧的第二分离膜彼此分离，所述第一分离膜和所述第二分离膜彼此部分地连接或者彼此部分地接触以根据所述第一收纳室的内压的改变或所述第二收纳室的内压的改变而连动，并且作为间隙的空间设置于所述第一分离膜与所述第二分离膜之间并且与外部空气连通。

全文数据：流体收纳构件技术领域实施方式的一个公开的方面涉及收纳流体的流体收纳构件。背景技术作为喷墨打印机和压印设备，存在包括收纳流体诸如墨或压印材料的流体收纳构件的那些喷墨打印机和压印设备。日本特开2016-032103号公报说明了这样的结构：在该结构中，这样的流体收纳构件的内部被划分为两个收纳部或液室，并且一个收纳部被用于调节另一收纳部的压力。通过柔性膜使两个收纳部分离。在图10中示出了日本特开2016-032103号公报中说明的流体收纳构件。日本特开2016-032103号公报中说明的流体收纳构件包括检测分离膜1的破损的机构。在第二收纳室6侧，使用不容易与填充连通排出头14的第一收纳室5的液体混合的液体，或者使用具有小于填充第一收纳室5的液体的比重的比重的液体。因此，当分离膜1破损时，从第一收纳室5漏出到第二收纳室6侧的液体滞留在位于第二收纳室6下方的测量区域52。测量区域52附近设置传感器53，并且传感器53被用作能够检测液体的诸如折射率的物理性质的检测单元。在日本特开2016-032103号公报中，通过使用传感器53检测滞留在测量区域的液体的物理性质的变化，能够检测分离膜1的破损。根据日本特开2016-032103号公报中说明的方法，能够检测分离膜的破损。然而，当第一收纳室的内压和第二收纳室的内压彼此相等时，尽管填充第一收纳室的液体流体和填充第二收纳室的液体流体彼此接触，各液体流出到位于相对侧的收纳室仍然需要时间，其结果是检测可能会被延迟。取决于流体的组合，即使流体仅彼此接触，第一收纳室中的流体和第二收纳室中的流体中的任一者可能变坏。因此需要第一流体与第二流体首先尽可能避免彼此接触，并且不彼此混合。发明内容本实施方式的一个方面提供一种流体收纳构件，其包括：第一收纳室，其收纳第一流体；以及第二收纳室，其收纳第二流体。所述第一收纳室和所述第二收纳室通过位于所述第一收纳室侧的第一分离膜和位于所述第二收纳室侧的第二分离膜彼此分离。所述第一分离膜和所述第二分离膜彼此部分地连接或者彼此部分地接触以根据所述第一收纳室的内压的改变或所述第二收纳室的内压的改变而连动。通过参照附图对示例性实施方式的以下说明，本发明的其它特征将变得明显。附图说明图1示出了流体收纳构件。图2示出了排出头。图3示出了流体收纳构件。图4A和图4B示出了分离膜。图5A至图5C示出了分离膜。图6A和图6B示出了流体收纳构件。图7示出了分离膜。图8示出了孔形成于流体收纳构件的分离膜的状态。图9示出了流体收纳构件。图10示出了现有的流体收纳构件。具体实施方式本发明提供了一种流体收纳构件，该流体收纳构件抑制因两个收纳室之间的分离膜的破损而引起的两个收纳室中收纳的流体的混合。以下说明实现本发明的实施方式。图1示出了示例性流体收纳构件。流体收纳构件13包括壳体11和壳体12，并且是包括排出头14的盒式收容构件。排出头14具有排出口15，并且能够从排出口15排出收纳于流体收纳构件的流体。排出头14不需要设置于流体收纳构件13。例如，排出头14可以与流体收纳构件13分离地布置并且经由例如连通管连接到流体收纳构件13。图2中示出了排出头14的放大图。排出口15是以每英寸大约500个至1000个孔的密度形成于排出头14的表面的孔。流体表面的弯液面17形成于各排出口15。排出口15与对应的压力室19连通。用于产生排出流体用的能量的能量产生元件未示出设置于对应的压力室19。压电元件或加热元件可以被用作能量产生元件。当使用压电元件时，通过在对应的排出口15的压力室19中驱动和控制压电元件，压力室19内的容积改变以将压力室中的流体排出到外部。可以通过使用例如MEMS微机电系统技术来制造压电元件。排出头在压力室19与收纳从排出头14排出的流体的第一收纳室5之间未设置控制阀。因此，通过将第一收纳室5的内压控制为相对于外压大气压例如小大约0.3kPa至0.5kPa的负压，流体在各排出口15的开口面处形成弯液面17，以抑制流体在不期望的时刻滴下。再次参照图1，说明流体收纳构件的结构。流体收纳构件包括收纳第一流体的第一收纳室5和收纳第二流体的第二收纳室6。在本结构中，通过用第一分离膜1封闭壳体11的凹部的开口使第一收纳室5形成于壳体11第一收纳室5包括由第一分离膜1封闭的壳体的凹部，并且第二收纳室6包括由第二分离膜2封闭的壳体的凹部。通过用第二分离膜2封闭壳体12的凹部的开口来形成壳体12中的第二收纳室6。通过组合壳体11和壳体12，分离第一收纳室5和第二收纳室6的第一分离膜1和第二分离膜2设置于第一收纳室5与第二收纳室6之间。即，通过位于第一收纳室5侧的第一分离膜1和位于第二收纳室6侧的第二分离膜2分离第一收纳室5和第二收纳室6。换言之，第一分离膜1是第一收纳室5的与第一流体直接接触的部分。如将在之后说明的，第一分离膜1可以在任一方向上移动，使第一收纳室5的容积膨胀或收缩，这相应地使第一收纳室5的内压改变。类似地，第二分离膜2是第二收纳室6的与第二流体直接接触的部分。如将在之后说明的，第二分离膜2可以与第一分离膜1在任一方向上连动，使第二收纳室6的容积膨胀或收缩，这相应地使第二收纳室6的内压改变。如将在之后说明的，在一个实施方式中，第一分离膜1和第二分离膜2可以由间隙或空间4分离，并且可以由桥3连接。第一收纳室5与排出头14连通，并且经由排出头14与外部空间连通。第二收纳室6通过连接管24连接到副罐。第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地连接或彼此部分地接触。首先，说明第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地连接的示例。在图1中，第一分离膜1和第二分离膜2通过桥3而彼此部分地连接。在本实施方式中，通过两个分离膜、即第一分离膜1和第二分离膜2来分离第一收纳室5和第二收纳室6。因此，即使分离膜中的一者破损，只要另一分离膜继续存在，就能够抑制收纳于第一收纳室5的第一流体和收纳于第二收纳室6的第二流体的混合。接下来，说明第一收纳室5与第二收纳室6的内压第一和第二流体的压力之间的关系以及对应的收纳室的形状改变。当第一收纳室5的内压和第二收纳室6的内压彼此相等时，各收纳室的形状被维持。相比之下，当第一收纳室5的内压与第二收纳室6的内压之间产生差时，第一分离膜1和第二分离膜2向低内压侧连动同时在同向上移动。当内压之间的差变为零时，停止移动。该循环移动和停止反复。因此，第一收纳室5的内压和第二收纳室6的内压能够保持彼此相等。更具体地，由于第一收纳室5内部的容积随着第一流体从排出头14排出而减小，所以内压相应地降低。此时，由于第二收纳室6内部的容积未改变，所以第二收纳室6的内压变得比第一收纳室5的内压相对地高。在本文中，第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地连接。因此，在流体收纳构件13中，第一分离膜1和第二分离膜2朝向第一收纳室5侧连动了对应于所排出的第一流体的体积的量。同时，作为第二分离膜2移动的结果，第二流体经由连接管24从副罐26被抽吸到第二收纳室6中。这使第一收纳室5的内压和第二收纳室6的内压再次彼此相等，并且处于平衡状态。以该方式，通过收容于第二收纳室6的第二流体调节第一收纳室5的内压。即，当第一收纳室5和第二收纳室6中任一者的内压改变时，第一分离膜1和第二分离膜2根据内压的改变连动。为了使第一分离膜1和第二分离膜2连动，第一分离膜1和第二分离膜2通过桥3彼此部分地连接。第一分离膜1和第二分离膜2均为柔性膜。期望的是，第一分离膜1由耐受第一分离膜1接触的第一流体的材料形成并且第二分离膜2由耐受第二分离膜2接触的第二流体的材料形成。第一分离膜1和第二分离膜2均可以由诸如PTFE聚四氟乙烯的氟树脂形成。然而，由于存在许多具有高硬度的氟树脂，所以将第一分离膜1和第二分离膜2形成得薄在技术上困难。由于第一分离膜1接触从排出头14排出的第一流体，所以第一分离膜1由诸如PTFE的氟树脂形成。另一方面，第二分离膜2基本上不接触第一流体。因此，第二分离膜2的材料的示例包括PE聚乙烯、PVC聚氯乙烯、PET聚对苯二甲酸乙二醇酯、PVAL聚乙烯醇和PVDC聚偏二氯乙烯。其它示例为诸如尼龙的聚酰胺合成树脂。以该方式，第一分离膜1和第二分离膜2可以根据其所期望的特性由不同的材料形成。如图1所示，第二收纳室6经由连接管24连接到副罐26。由于副罐26收纳第二流体27，所以第二流体27的界面液面在重力方向上处于排出头14的排出口15的下方的位置。图3示出了该状态。第二流体27的液面处于排出口15下方ΔH的位置。这里，排出头14的各排出口15是直径为10μm的圆形，并且假定以1pL排出密度与水的密度大致相等的一滴墨的情况。在该情况下，为了维持图2中示出的各弯液面17的状态，期望的是将第一收纳室5的内压控制成比外压低0.40±0.04kPa的压力。因此，期望的是ΔH为41±4mm。液面传感器41布置于副罐26的侧面。当液面相对于作为基准的液面的高度排出口15下方41mm的高度超过±4mm的范围时，启动校正操作。即，驱动液体供给泵32和控制阀31以从主罐34向副罐26供给第二流体，或者从副罐26向罐34返还第二流体。这将液面控制在了期望区域中。即，通过第二流体调节第一流体的压力。通过压力调节单元诸如与第二收纳室6连通的液体供给泵32、副罐26、主罐34调节第二流体的压力。通过第一分离膜1和第二分离膜2来分离第一收纳室5和第二收纳室6。当第一分离膜1和第二分离膜2独立地移动和变形时，即使调节副罐26中液面的高度，也难以控制排出头14中的压力。例如，即使尝试将副罐26中的液面控制为在排出口15的下方，也仅有第二分离膜2在图1中的X方向上持续移动、直到第二收纳室6的内压变得与外压相等。另外，第二流体从副罐26的入口25溢出，或者以与因副罐26的液体调节功能而返还的第二流体的量对应的量使第二流体供给到主罐34。在任一情况下，第二收纳室6最终耗尽第二流体，并且第二分离膜2困在壳体12的壁面。因此，第二分离膜2直接地困在壳体的壁面，并且第二分离膜2的形状改变以贴合壳体的壁面。此时，由于第一分离膜1不与第二分离膜2连动，所以排出头14中的压力不响应于副罐26中的液面高度而改变。相比之下，在本实施方式中，第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地连接。在图1中，第一分离膜1和第二分离膜2通过多个桥3而彼此连接。因此，第一分离膜1和第二分离膜2连动，并且第一收纳室5的内压和第二收纳室6的内压保持彼此相等。这使收纳室的内压因各排出口15处的弯液面17产生的负压而彼此相等。图4A和图4B示出了第一分离膜1的形状和第二分离膜2的形状的细节。通过以匹配壳体的凹部的形状的方式将柔性膜成型为凸出形状来形成第一分离膜1和第二分离膜2。如图4A所示，第一分离膜1和第二分离膜2彼此重叠以根据图4B中示出的熔接线71通过使用激光处理器来利用激光照射它们，并且热熔接被照射的部分。热熔接部分成为桥3。如图1所示，第一分离膜1和第二分离膜2之间的部分以通过通气孔18连接到外部空气的方式形成。这里，第一收纳室5和第二收纳室6保持在相对于外压的负压状态，第一收纳室5和第二收纳室6的压力彼此相等，使得两个分离膜的未熔接的部分相对于收纳室处于膨胀状态，并且形成空间4。期望的是，随着第一流体的量减少，第一分离膜1和第二分离膜2顺利移动。图4A中示出的第一分离膜1包括：顶部1a，其为凸出的顶且为平坦面；侧面部分1c，其位于侧面且相对于顶部1a倾斜；以及圆角部分1b，其具有圆角形状并且布置于顶部1a与侧面部分1c之间。由于第二分离膜2具有与第一分离膜1的形状一致的形状，所以第二分离膜2的凸出部分贴合第一分离膜1的凸出部分的凹侧内部。圆角形状在这里指的是具有不同曲率且在拐点处连接的至少两个弯曲段的弯曲线，与字母“R”中的弯曲线相似。在这样的分离膜中，期望的是每单位面积的桥3的配置密度在顶部处高于在侧面部分1c处和圆角部分1b处。另外，期望的是每单位面积的桥3的配置密度在圆角部分1b处为最低。这是因为，当在圆角部分1b和侧面部分1c处存在太多桥3时，刚性增加，导致分离膜难以顺利地移动。这里，为桥布置熔接线71。然而，期望的是熔接线71的数量为如下方式：圆角部分1b处的熔接线71的数量侧面部分1c处的熔接线71的数量顶部1a处的熔接线71的数量。期望的是，当第一分离膜1或第二分离膜2破损时，抑制收纳于收纳室的流体从盒滴下。因此，期望的是，在使用中的流体收纳构件的姿势orientation上，熔接线71桥3被形成为沿着Y轴线方向在与重力方向正交的方向上延伸。期望的是熔接线71桥3具有格子形式。使用中的流体收纳构件的姿势指的是在例如流体收纳构件安装于诸如喷墨打印机或压印设备的记录设备时流体收纳构件的姿势。以下方法是结合第一分离膜1和第二分离膜2的示例。首先，第一分离膜1和第二分离膜2被成型为沿着壳体11的内壁面延伸的凸出形状。接下来，在流体收纳构件13中结合它们时，它们以沿着壳体12的内壁面在相反方向凸出的方式暂时变形。此后，使第一分离膜1和第二分离膜2夹在壳体11与壳体12之间。间隔件可以夹在第一分离膜1与第二分离膜2之间，以使第一分离膜1和第二分离膜2除了在桥处之外彼此不接触。间隔件可以与至少一个分离膜至少一体地成型。壳体11和壳体12可以相对于以第一分离膜1或第二分离膜2的安装部分为边界的平面形成为对称的形状。例如，第一分离膜1的凸出形状与第二分离膜2的凸出形状可以以在相反方向上凸出的方式形成。由此，当第一流体被消耗时，第一收纳室5中的第一流体能够被充分地消耗、直到第一分离膜1和第二分离膜2沿着壳体11的内壁面变形。为了顺利地移动第一分离膜1和第二分离膜2，期望的是在侧面部分上进行点熔接诸如圆点熔接。期望的是在与第一分离膜1和第二分离膜2的移动方向正交的方向上进行线熔接。即，期望的是以点诸如圆点或线的形状形成桥3。当形状为线时，第一分离膜1和第二分离膜2通过线状的桥彼此连接。以上说明了第一分离膜1和第二分离膜2通过图1中示出的桥3彼此部分地连接的结构。然而，在本实施方式中，第一分离膜1和第二分离膜2可以彼此部分地接触。即，桥3不需要是从第一分离膜1的表面和第二分离膜2的表面凸出的部分。例如，第一分离膜1和第二分离膜2的部分熔合且仅彼此接触的部分也可以是桥3。在图4A和图4B中，例如，通过使用PTFE膜作为第一分离膜1和第二分离膜2，按照熔接线71利用激光照射它们，并且热熔接它们，第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地连接或彼此部分地接触。激光熔接是在将相同材料的两个部件接合在一起时经常使用的技术。另一方面，本实施方式的流体收纳构件可以收纳光敏抗蚀剂作为第一流体。特别是，当光敏抗蚀剂是压印材料时，需要最小化金属离子的污染。因此，分离膜例如为PTFE膜。然而，考虑到能够进行激光熔接的容易性，部件中的一个部件需要使激光束透过。因此，期望的是透明的PTFE膜被用于第一分离膜1。另一方面，期望的是待被熔接的界面是使热量通过激光照射容易地产生的不透明表面。因此，期望的是不透明的PTFE膜被用于第二分离膜2。当第二分离膜2是PTFE膜时，由于难以进行第二分离膜2表面的涂覆，所以通过将碳粉添加到材料和降低透过率，能够实现不透明的表面。由于第一分离膜1是直接接触光敏抗蚀剂的分离膜，所以第一分离膜1的材料需要是具有小量添加剂的材料。因此，期望的是第一分离膜1不含有添加剂。另一方面，当由薄膜树脂构件形成时，易于产生静电，其结果是将碳添加到第二分离膜2并且接地，以使电荷逃逸。图4A和图4B示出了通过使用激光将第一分离膜1和第二分离膜2热熔接并且熔接部分成为桥3，即第一分离膜1和第二分离膜2彼此接触或它们彼此连接的部分的示例。可以通过其它方法使第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地接触或彼此部分地连接。其示例为图5A至图5C中示出的连接。如图5A所示，与图4A和图4B相同，利用凸出形状成型第一分离膜1和第二分离膜2并且使它们平行地彼此重叠。然而，如图5B所示，第二分离膜2的表面设置有凸出部分72。凸出部分72可以通过成型和加工第二分离膜2而以部分凸出的方式形成，或者可以通过形成不同的凸出构件诸如PTFE而形成。通过相对于第一分离膜1熔接或熔合凸出部分72来固定和连接它们，形成了桥3。可选地，如图5C所示，通过将诸如线状凸出部分的凸出部分72作为不同的构件布置于第一分离膜1和第二分离膜2之间，并且熔接或熔合来使它们固定并接触连接，也能够形成桥3当凸出部分72与第一分离膜1和第二分离膜2熔接在一起时，凸出部分72成为桥3。当通过成型第二分离膜2来形成凸出部分72时，第一分离膜1和第二分离膜2彼此接触。当分别从第一分离膜1和第二分离膜2形成凸出部分72时，第一分离膜1和第二分离膜2彼此连接。作为桥3的示例，可以使用在支撑构件的两面均具有粘接层的所谓的双面胶带。为了在即使当第一分离膜1或第二分离膜破损且流体从该处漏出时双面胶带也保持各分离膜，期望的是第一分离膜1和第二分离膜2分别由耐受第一流体的材料和耐受第二流体的材料形成。当流体收纳构件被用作例如压印设备的盒时，期望的是使用允许少的脱气进入压印设备的材料。根据这些观点，期望的是粘接层由丙烯酸树脂形成。第一分离膜1和第二分离膜2不必具有从其中央凸出的凸出形状。图6A示出了以袋的形式闭合第一分离膜1和第二分离膜2的流体收纳构件13。图6B是第一分离膜1和第二分离膜2的放大图，并且示出了以吸管的形式从袋状第二分离膜2的内部凸出到外部的连接管24。与图1中示出的形式相似，连接管24贯通流体收纳构件13的壳体并且到达副罐26，并且第二流体收纳于袋状第二分离膜2中。袋状分离膜1以包裹第二分离膜2的方式布置于第二分离膜2的外侧。第一分离膜1和第二分离膜2通过桥3彼此部分地接触彼此部分地连接。通气孔18从第一分离膜1与第二分离膜2之间的空间4贯通第一分离膜1并且从该处凸出。通气孔18贯通流体收纳构件13的壳体并且连接到外部。在图1中示出的形式中，壳体11和壳体12分别具有收纳第一流体的收纳室的外部分隔件和收纳第二流体的收纳室的外部分隔件的功能。然而，在图6A示出的形式中，收纳第二流体的袋在第一流体中浮动。其它方面与例如图1中说明的那些相同。即使在图6示出的形式中，也能够实现本实施方式的效果。期望的是第一分离膜1的厚度和第二分离膜2的厚度为10μm以上且100μm以下。第一分离膜1的厚度和第二分离膜2的厚度可以彼此不同。当第一分离膜1的厚度和第二分离膜2的厚度彼此不同时，分离膜整体的刚性减小，使得能够随着归因于第一流体的排出导致第一流体的量减少而顺利地移动第一分离膜1和第二分离膜2。考虑到第一分离膜1接触第一流体，期望的是第一分离膜1比第二分离膜2厚。例如，期望的是第一分离膜1的厚度为第二分离膜2的厚度的1.3倍以上且2.5倍以下。然而，例如，当第一收纳室5的内压被保持为比外压低0.4±0.04kPa的内压时，期望的是第一分离膜1和第二分离膜2在0.01kPa以下的压力差的情况下无抵抗地自由变形和移动。这里，假定第一分离膜1的厚度和第二分离膜2的厚度在其对应的分离膜中大致为均匀的厚度至少顶部1a的厚度、圆角部分1b的厚度和侧面部分1c的厚度为大致均匀。另一方面，能够使一个分离膜中的分离膜厚度不同。例如，图7示出了第一分离膜1的结构。如图7所示，期望的是第一分离膜1的外缘部7比第一分离膜1的顶部8厚。这能够抑制在熔接或粘接分离膜时分离膜的破损。当顶部8的厚度大于圆角部分的厚度和侧面部分的厚度时，能够顺利地移动分离膜。成型顶部8的方法的示例包括在加热的同时真空成型、在加热的同时吹塑成型以及在加热的同时使用模具成型。在使用模具成型时，将处于平面状态下的分离膜的外缘部1d固定到固定框架并且加热该外缘部1d，并且通过使用模具推出图4A中示出的凸出部分顶部1a、圆角部分1b和侧面部分1c的方法是可用的。然而，方法不限于这样的真空成型和使用模具成型，使得能够选择适合于成为分离膜的柔性构件的材料且适合于分离膜的所需要的形状的成型方法。作为分离膜，可以使用除了第一分离膜1和第二分离膜2之外的分离膜。例如，可以使用三个分离膜。即使在这样的结构中，通过使分离膜彼此部分连接或者彼此部分接触，也能够使分离膜连动并且提供本实施方式的效果。例如，当制造分离膜或者在分离膜的移动期间形成孔时，分离膜可能会破损。当第一流体和第二流体混合时，产生这样的问题：第一流体困在排出头中，并且即使第一流体从排出头中排出，也不能形成好的图像或图案。相比之下，在本实施方式中，如上所述，即使第一分离膜1和第二分离膜2中的一者破损，只要第一分离膜1和第二分离膜2中的另一者未破损，就能够抑制第一流体和第二流体的混合。图8示出了第二分离膜2破损并且在第二分离膜2中形成了孔73的状态。由于作为第一分离膜1与第二分离膜2之间的间隙的空间4与外部空气连通，所以空间4中的压力与大气压力相等。另一方面，如图3所示，第一收纳室5的压力和第二收纳室6的压力均被调节到相对于大气压力小例如0.4kPa的负压。由此，从压力相对高的空间4朝向压力相对低的第二收纳室6，来自孔73的空气转换为气泡74并且气泡74被吸入。由于气泡74的压力等于大气压力，所以第二收纳室6的内压升高，并且第二流体经由连接管24被朝向副罐26推出。以该方式，即使第二分离膜2形成了孔73，也能够防止收纳于第一收纳室5的第一流体和收纳于第二收纳室6的流体彼此接触。另一方面，当第一分离膜1中形成了孔时，气泡被吸入第一收纳室5并且第一收纳室5的内压升高。结果，第一分离膜1和第二分离膜2朝向第二收纳室6侧移动，使得体积与已经移动的第二流体的体积相等的第二流体的量经由连接管24被朝向副罐26推出。另外，能够防止收纳于第一收纳室5的第一流体和收纳于第二收纳室6的第二流体彼此接触。因为空间4连接到外部空气，所以到目前为止的说明假定了第一分离膜1与第二分离膜2之间的空间4中的压力与大气压力相等。然而，即使通过作为先调节被设置为用于与外部空气连通的阀的压力、然后关闭该阀的结果而形成了气密的空间，也能够维持空间4中的压力与第一收纳室5和第二收纳室6的压力之间的差。当孔形成于分离膜中的一者并且第二流体被朝向副罐26推出时，能够通过检测第二流体的移动来检测分离膜中的任何破损。这里，更详细地说明作为桥3的熔接线71。在图4B中，熔接线71是独立的线并且彼此不交叉。归因于上述结构，未在第一分离膜1与第二分离膜2之间形成封闭空间。当第一分离膜1的整个表面和第二分离膜2的整个表面彼此紧密接触时，或者熔接线形成封闭空间时，即使第一分离膜1或第二分离膜2破损，从外部供给形成图8中示出的气泡74的空气的通路被阻断。因此，离散地布置桥3以使得即使流体收纳构件13中的第一分离膜1和第二分离膜2中的各种位置破损，也保留用于将外部空气供给到破损位置的路径。特别地，当第一分离膜1和第二分离膜2彼此紧密接触时，彼此紧密接触的分离膜具有的刚性与厚度等于在一起的两个膜的厚度的薄膜的刚性相等。使该薄膜变形所需要的力是当两分离膜连动并且变形时所需要的力的大约十倍。因此，该薄膜可能不再能够响应微弱的压力差。到目前为止，说明了作为第一分离膜1与第二分离膜2之间的间隙的空间经由通气孔18与外部空气连通的情况。然而，第一分离膜1与第二分离膜2之间的空间不必填充空气。如图3所示，说明第一收纳室5的内压和第二收纳室6的内压彼此相等并且这些内压被设定为相对于外部压力小数kPa的负压的情况。在该状态下，当分离膜中的一者破损时，为了保持第一流体和第二流体彼此不接触，填充空间4的流体不必是空气。另外，空间4的压力不必与外部压力相等。即，通气孔18不必与外部空气连通。图9示出了通气孔18与处于气密状态的气罐37连通的流体收纳构件13。气罐37具有例如110kPa的压力，该压力大于或等于外部压力。在气罐37中密封化学清洁的氮气。根据这样的结构，例如，第一流体是光敏抗蚀剂，并且即使第一分离膜1破损，也能够抑制因氧气与第一流体接触引起的光敏抗蚀剂的光敏性能的改变。由于化学清洁的氮气不包含金属离子，所以即使化学清洁的氮气与第一流体接触，第一流体也不会被金属离子污染。此外，由于氮气的内压高于第一收纳室5的内压，所以当分离膜破损时，氮气流入第一收纳室5侧比第一流体流出到空间4侧发生得早。通过升高第一收纳室5的压力和第二收纳室6的压力，能够检测分离膜的任何破损。到目前为止，给出了关于第一分离膜1和第二分离膜2通过桥3彼此部分地连接或彼此部分地接触的结构的说明。代替通过桥3使第一分离膜1和第二分离膜2接触，可以通过减小第一分离膜1与第二分离膜2之间的空间4的压力例如，通过使空间4的压力比外部压力大气压力低而使第一分离膜1和第二分离膜2彼此接触。更具体地，能够气密密封空间4、设置用于将空间4的压力控制到预定压力的压力控制单元、通过压力控制单元调节空间4的压力并且使第一分离膜1和第二分离膜2彼此接触。根据该方法，归因于例如当第一分离膜1和第二分离膜2彼此接触时产生的褶皱或者第一分离膜1和第二分离膜原本具有的褶皱，能够使第一分离膜1和第二分离膜2部分地接触而不使它们的整个表面接触。结果，与到目前为止已说明的相同，第一分离膜1和第二分离膜2能够根据第一收纳室5或第二收纳室6的内压改变而连动。与归因于热熔接使第一分离膜1和第二分离膜2接触第一分离膜1和第二分离膜2被热熔接在一起的方法相比，该方法能够抑制分离膜的硬化和破损。与当通过桥3特别地，当桥3是双面胶带时使第一分离膜和第二分离膜彼此接触或彼此连接时相比，能够抑制分离膜的刚性增加。为了实现理想的接触状态，期望的是第一分离膜1与第二分离膜2之间的空间4的压力比外部压力小0.4kPa以上且5.0kPa以下的范围。更期望的是第一分离膜1与第二分离膜2之间的空间4的压力比外部压力小0.5kPa以上且3.0kPa以下的范围。尽管第一分离膜1和第二分离膜2可以基本上被形成为通过彼此部分地连接或通过彼此部分地接触而连动，但是说明了更期望的范围。根据它们是否彼此连接或彼此接触，该更期望的范围不同。首先，说明了第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地连接的情况。期望的是它们在多个位置处连接。为了防止当第一分离膜1与第二分离膜2连动时在它们之间形成大的间隙，期望的是尽可能离散地布置多个连接位置。因此，期望的是，在第一分离膜1与第二分离膜2彼此相对的平面中，多个连接位置至少布置于靠近平面的重心在比起靠近外周更靠近重心的位置以及靠近外周在比起靠近重心更靠近外周的位置。当第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地连接时，随着连接位置的面积减小，能够减小分离膜整体的刚性，并且能够抑制第一分离膜1和第二分离膜2连动时的压力改变。因此，在第一分离膜1和第二分离膜2彼此相对的平面中，多个连接位置的总面积期望为整个平面的面积的40％以下，更期望为整个平面的面积的10％以下，甚至更期望为整个平面的面积的5％以下。另一方面，当连接位置的面积过小时，分离膜在连结位置处的连接力附着力小，其结果是分离膜易于从彼此剥离。因此，期望的是，在第一分离膜1和第二分离膜2彼此相对的平面中，连接位置的总面积为整个平面的面积的1％以上。接下来，说明第一分离膜1和第二分离膜2彼此部分地接触的情况。当通过减小第一分离膜1与第二分离膜2之间的空间4的压力使第一分离膜1和第二分离膜2彼此接触时，接触位置的面积相对大。当第一分离膜1和第二分离膜2彼此接触时，随着接触位置的面积减小，分离膜难以连动。因此，在第一分离膜1和第二分离膜2彼此相对的平面中，接触部分的总面积期望为整个平面的面积的80％以上，更期望为整个平面的面积的90％以上。尽管它们仅彼此接触，但是，如果整个相对表面彼此接触并且分离膜整体的刚性变得过高，则该状态接近当仅一个分离膜的厚度增加时的状态。因此，期望的是空间4的压力与外部压力大气压力之间的差为10kPa以下，并且能够调节接触程度。能够从排出头14排出第一流体。因此，第一流体可以是例如喷墨打印机中使用的墨。第二流体是用于调节第一流体的压力的流体。因此，第二流体不必是昂贵的墨。第二流体可以是例如通常具有接近于墨的比重的比重的水。然而，期望的是，为了抑制水的腐败和抑制细菌繁殖的目的，使用添加了提供防腐效果的添加剂的水。尽管期望的是第一流体和第二流体是液体，但是它们可以是粘性流体或抗蚀材料。特别地，由于第二流体调节第一流体的压力，第二流体可以是气体。在流体收纳构件中，更有效的是收纳于第一收纳室5的第一流体是压印材料。理由如下。在例如半导体装置的制造过程中，使具有图案的模具与位于基板的压印材料接触并且模具的形状被转印到压印材料以形成图案的所谓的压印技术是可用的。压印材料作为第一流体收纳于第一收纳室5。由于压印材料被用于形成非常微细的成型物，所以压印材料不能与第二流体混合。取决于第二流体的组分，仅少量接触就会改变第一流体压印材料的组分。例如，第二流体中仅少量的金属离子进入第一流体就引起第一流体被金属离子污染，并且使第一流体难以被用作压印材料。另外，仅少量异物进入第一流体就会影响图案的形成。因此，当能够抑制第一流体和第二流体混合的流体收纳构件被用作压印材料收纳构件时，其效果非常大。当第一流体是压印材料时，流体收纳构件能够被用作安装于压印设备的构件盒。即使代替具有图案的模具而在基板上对平坦模具平坦化构件加压，流体收纳构件也被有效地使用。这是因为，在该情况下，尽管第一流体例如为抗蚀剂，但是位于基板的抗蚀剂的组分与以上压印材料的组分同样重要。尽管已经参照示例性实施方式说明了本发明，但是应当理解的是，本发明不限于所公开的示例性实施方式。所附权利要求的范围应符合最宽泛的解释，以包含所有的这些变型、等同结构和功能。

权利要求：1.一种流体收纳构件，其包括：第一收纳室，其收纳第一流体；以及第二收纳室，其收纳第二流体，其特征在于，所述第一收纳室和所述第二收纳室通过位于所述第一收纳室侧的第一分离膜和位于所述第二收纳室侧的第二分离膜彼此分离，并且所述第一分离膜和所述第二分离膜彼此部分地连接或者彼此部分地接触以根据所述第一收纳室的内压的改变或所述第二收纳室的内压的改变而连动。2.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一流体是从排出头排出的流体。3.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述流体收纳构件还包括排出头，所述排出头与所述第一收纳室连通并且被构造成排出所述第一流体。4.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述流体收纳构件还包括压力调节单元，所述压力调节单元与所述第二收纳室连通并且被构造成调节所述第二流体的压力。5.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一收纳室包括由所述第一分离膜封闭的壳体的凹部，并且所述第二收纳室包括由所述第二分离膜封闭的壳体的凹部。6.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一分离膜和所述第二分离膜中的至少一者具有凸出形状。7.根据权利要求6所述的流体收纳构件，其中，所述凸出形状包括顶部、侧面部分以及布置于所述顶部与所述侧面部分之间的圆角部分，并且所述顶部比所述侧面部分和所述圆角部分厚。8.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一分离膜比所述第二分离膜厚。9.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一收纳室的内压比外部压力低。10.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一分离膜和所述第二分离膜在多个位置处彼此连接或彼此接触。11.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一分离膜和所述第二分离膜被热熔接在一起。12.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一分离膜和所述第二分离膜均具有凸出形状，所述凸出形状包括顶部、侧面部分以及布置于所述顶部与所述侧面部分之间的圆角部分，并且使所述第一分离膜和所述第二分离膜彼此连接的桥的配置密度在所述顶部处比在所述侧面部分处和所述圆角部分处高。13.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一分离膜和所述第二分离膜通过线状桥彼此连接。14.根据权利要求13所述的流体收纳构件，其中，在使用中的所述流体收纳构件的姿势中，所述线状桥沿着与重力方向正交的方向延伸。15.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，作为间隙的空间设置于所述第一分离膜与所述第二分离膜之间并且与外部空气连通。16.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一分离膜和所述第二分离膜通过不同于所述第一分离膜和所述第二分离膜的不同构件彼此连接。17.根据权利要求16所述的流体收纳构件，其中，所述不同构件是双面胶带。18.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，作为间隙的空间设置于所述第一分离膜与所述第二分离膜之间，并且通过减小所述空间的压力使所述第一分离膜和所述第二分离膜彼此部分地接触。19.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第二流体是液体。20.根据权利要求1所述的流体收纳构件，其中，所述第一流体是压印材料。

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