申请/专利权人：爱思开海力士有限公司

申请日：2020-04-07

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112349774A

主分类号：H01L29/423(20060101)

分类号：H01L29/423(20060101);H01L29/51(20060101);H01L29/78(20060101);H01L27/1159(20170101);H01L21/336(20060101);H01L21/28(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：["20190806 KR 10-2019-0095789"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本申请公开了一种具有铁电感应层的铁电存储器件及其制造方法。根据本公开的一个方面的铁电存储器件包括：具有沟道层的衬底；设置在沟道层上的第一铁电层；设置在第一铁电层上的铁电感应层，该铁电感应层包括绝缘体；设置在铁电感应层上的第二铁电层；以及设置在第二铁电层上的栅电极层。

主权项：1.一种铁电存储器件，包括：具有沟道层的衬底；设置在所述沟道层上的第一铁电层；设置在所述第一铁电层上的铁电感应层，所述铁电感应层包括绝缘体；设置在所述铁电感应层上的第二铁电层；以及设置在所述第二铁电层上的栅电极层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 爱思开海力士有限公司 具有铁电感应层的铁电存储器件及其制造方法

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