申请/专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司

申请日：2020-11-16

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN112382600A

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2022.06.24#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.03.09#实质审查的生效;2021.02.19#公开

摘要：本发明涉及光伏组件装置技术领域，具体涉及一种硅片吸附吸盘变间距组件，旨在解决现有技术中硅片传输装置无法满足硅片在花篮与石英舟之间周转过程中实现变间距要求形成的问题，其技术要点在于：包括两组间距调整块、组件安装板及调节部件，每组所述间距调整块一一对应设置，相互对应的两个所述间距调整块之间设置有连杆，同组相邻两个所述间距调整块之间设置有互联装置，同组所述间距调整块之间贯穿有导向轴，所述间距调整块位于所述组件安装板厚度方向其中一侧，每一所述间距调整块上分别固定有一吸盘，所述调节部件设置有两个，两个所述调节部件分别用于对两组间距调整块位置进行调节。

主权项：1.一种硅片吸附吸盘变间距组件，其特征在于：包括两组间距调整块10、组件安装板2及调节部件，每组所述间距调整块10一一对应设置，相互对应的两个所述间距调整块10之间设置有连杆4，同组相邻两个所述间距调整块10之间设置有互联装置，同组所述间距调整块10之间贯穿有导向轴12，所述间距调整块10位于所述组件安装板2厚度方向其中一侧，每一所述间距调整块10上分别固定有一吸盘5，所述调节部件设置有两个，两个所述调节部件分别用于对两组间距调整块10位置进行调节。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 一种硅片吸附吸盘变间距组件

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