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【实用新型】一种气体分配检测装置_苏州恩腾半导体科技有限公司_202020702642.7 

申请/专利权人:苏州恩腾半导体科技有限公司

申请日:2020-04-30

公开(公告)日:2021-02-19

公开(公告)号:CN212568672U

主分类号:G01N33/00(20060101)

分类号:G01N33/00(20060101);G01N1/34(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.02.19#授权

摘要:本实用新型涉及一种气体分配检测装置,包括:分配器;在所述分配器上并联设有多个加热过滤组件,用于将气体升温过滤后送入分配器中;在所述分配器上联通设有排出泵和检测器;所述排出泵上设有第一排气管;所述检测器的另一端与检测泵相连,检测泵用于将分配器内的气体移动至检测器;所述检测泵的另一端与第二排气管相连本实用新型的气体分配检测装置,在进气口增设了加热过滤组件,减少外部环境对气体检测的影响,同时还具有可拆卸的收集组件,用于将大气中的金属和金属化合物进行收集而无需额外的设备,操作使用方便,满足了实际的使用需求。

主权项:1.一种气体分配检测装置,其特征在于,包括:分配器;在所述分配器上并联设有多个加热过滤组件,用于将气体升温过滤后送入分配器中;在所述分配器上联通设有排出泵和检测器;所述排出泵上设有第一排气管;所述检测器的另一端与检测泵相连,检测泵用于将分配器内的气体移动至检测器;所述检测泵的另一端与第二排气管相连。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州恩腾半导体科技有限公司 一种气体分配检测装置

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