申请/专利权人：广东长信精密设备有限公司

申请日：2020-05-25

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN212553075U

主分类号：B24B9/06(20060101)

分类号：B24B9/06(20060101);B24B41/06(20120101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.19#授权

摘要：本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆压紧机构，包括压紧轴体、座体和连接于座体的第一驱动装置，座体固定连接在晶圆磨边机的机架上，压紧轴体与加工主轴同轴设置，且压紧轴体位于加工主轴的上方，压紧轴体转动连接于第一驱动装置，第一驱动装置驱动压紧轴体沿其轴向运动以靠近或远离加工主轴，以压紧或释放加工主轴上的晶圆，当压紧轴体将晶圆压紧于加工主轴，压紧轴体还可相对第一驱动装置转动，以便跟随主轴旋转，在加工主轴旋转后无需再重新压紧定位，减少了生产步骤，提升生产效率。

主权项：1.一种晶圆压紧机构，其特征在于，包括压紧轴体、座体和连接于所述座体的第一驱动装置，所述压紧轴体与加工主轴同轴设置，且所述压紧轴体转动连接于所述第一驱动装置，所述第一驱动装置驱动所述压紧轴体沿其轴向运动以靠近或远离所述加工主轴。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东长信精密设备有限公司 晶圆压紧机构

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