申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司

申请日：2019-08-13

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112397411A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);B08B5/04(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：一种包含抽出装置的制程系统的监测方法。首先提供制程系统，其包含制程装置和抽出装置，抽出装置与制程装置可经由管路相连通。接着，接收信息，其包含制程的制程当量。然后，以制程装置进行所述制程，并以抽出装置移除制程装置中的固态副产物。接着，量测所述管路的管壁的厚度变化量。之后，根据所述厚度变化量，计算附着于抽出装置中的固态副产物的累积当量。接着，量测抽出装置的电流值。接着，对制程装置的状态、累积当量或电流值进行判断操作，以得知抽出装置中的固态副产物的累积状况。

主权项：1.一种包含抽出装置的制程系统的监测方法，其特征在于，包含：提供一制程系统，该制程系统包含一制程装置和一抽出装置，该抽出装置与该制程装置是经由一管路相连通；接收一信息，该信息包含一制程的一制程当量；以该制程装置进行该制程，并以该抽出装置移除该制程装置中的一固态副产物；量测该管路的一管壁的一厚度变化量；根据该厚度变化量，计算附着于该抽出装置中的该固态副产物的一累积当量；量测该抽出装置的一电流值；以及对该制程装置的一状态、该累积当量或该电流值进行一判断操作，以得知该抽出装置中的该固态副产物的一累积状况。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 包含抽出装置的制程系统及其监测方法

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