申请/专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学

申请日：2020-06-28

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN212587426U

主分类号：H01H59/00(20060101)

分类号：H01H59/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.23#授权

摘要：本实用新型提出了一种基于结构超滑的并联RFMEMS开关，包括基底、驱动部件、绝缘层以及滑动部件，其中，所述驱动部件置于所述基底内部，所述驱动部件与所述基底表面平齐且保持纳米级平整；所述滑动部件具有充电电介质层，并具有原子级平整超滑面，滑动部件通过超滑面与绝缘层接触，并置于绝缘层之上；所述滑动部件能够被驱动在面内沿水平方向滑动，通过调整驱动部件与滑动部件垂直面内重叠与分离实现开关。

主权项：1.一种并联RFMEMS开关，包括基底、驱动部件、绝缘层以及滑动部件，其特征在于：所述驱动部件置于所述基底内部，所述绝缘层具有原子级光滑表面，所述滑动部件具有充电电介质层，并具有超滑面，滑动部件通过超滑面与所述绝缘层的原子级光滑表面接触。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳清华大学研究院;清华大学 一种基于结构超滑的并联RF MEMS开关

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