申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2020-05-09

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN113811980B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：["20190510 US 62/846,586"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.05.27#实质审查的生效;2021.12.17#公开

摘要：二维频率搜索网格由表示RF信号发生器在第一操作状态下的操作频率设定点的第一坐标轴和表示所述RF信号发生器在第二操作状态下的操作频率设定点的第二坐标轴定义。所述RF信号发生器具有在第一操作状态下的第一输出功率电平和在第二操作状态下的第二输出功率电平。所述RF信号发生器通过在第一操作状态和第二操作状态之间循环交替而以多级RF功率脉冲模式操作。自动搜索过程在二维频率搜索网格内执行，以同时确定所述RF信号发生器在第一操作状态下的的操作频率设定点的最佳值和所述RF信号发生器在第二操作状态下的的操作频率设定点的最佳值。

主权项：1.一种用于自动频率调谐射频RF信号发生器从而以多级RF功率脉冲模式进行操作的方法，所述方法包括：定义二维频率搜索网格，所述二维频率搜索网格具有表示所述RF信号发生器在第一操作状态下的操作频率设定点的第一坐标轴，并且具有表示所述RF信号发生器在第二操作状态下的操作频率设定点的第二坐标轴，所述RF信号发生器在所述第一操作状态下具有第一输出功率电平，并且在所述第二操作状态下具有第二输出功率电平，所述第一输出功率电平和所述第二输出功率电平彼此不同，所述RF信号发生器被编程为通过在所述第一操作状态和所述第二操作状态之间循环交替而以所述多级RF功率脉冲模式进行操作；在所述二维频率搜索网格内执行自动搜索过程，以同时确定所述RF信号发生器在所述第一操作状态下的所述操作频率设定点的第一最佳值和所述RF信号发生器在所述第二操作状态下的所述操作频率设定点的第二最佳值；以及设置所述RF信号发生器以使用所述第一最佳值和所述第二最佳值进行操作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 用于多级RF功率脉冲的射频(RF)信号发生器的自动频率调谐的方法和系统

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