申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

申请日：2020-09-09

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN212586432U

主分类号：G01R1/04(20060101)

分类号：G01R1/04(20060101);G01R31/26(20140101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.23#授权

摘要：本实用新型公开了电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备。所述电激元器件光信号采集装置包括，固定连接于机架的测试电极，用于对电激元器件导通电流；支撑部，沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极；采用将电激元器件主动靠近测试电极并导入电荷的方式，便于保证电激元器件相对于测试电极的平整度，从而保证测试的准确度。

主权项：1.一种电激元器件光信号采集装置，其特征在于：固定连接于机架的测试电极，用于对电激元器件导通电流；支撑部，沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备

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