申请/专利权人:东京计器株式会社
申请日:2019-07-16
公开(公告)日:2021-02-26
公开(公告)号:CN112424613A
主分类号:G01P15/08(20060101)
分类号:G01P15/08(20060101);B81B3/00(20060101);B81C1/00(20060101);G01P15/125(20060101);G01P15/13(20060101)
优先权:["20180717 JP 2018-133891"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.12.29#授权;2021.05.18#实质审查的生效;2021.02.26#公开
摘要:本发明提供一种能够简化制造的三维结构部件的制造方法。三维结构部件的制造方法是对平板状的基体材料10A进行成形而制造具有厚度不同的多个部分11~14的三维结构部件的方法,其包括:掩模形成工序,在基体材料10A的至少一个主面的整体上形成掩模30;掩模除去工序,除去掩模30的一部分;以及蚀刻工序,对基体材料10A的露出的部分进行蚀刻,针对与三维结构部件的多个部分11~14分别对应的掩模30以及基体材料10A,按照三维结构部件的厚度较薄的顺序进行掩模除去工序和蚀刻工序的组。
主权项:1.一种三维结构部件的制造方法,是对平板状的基体材料进行成形而制造具有厚度不同的多个部分的三维结构部件的方法,其特征在于,包括:掩模形成工序,在上述基体材料的至少一个主面的整体上形成掩模;掩模除去工序,除去上述掩模的一部分;以及蚀刻工序,对上述基体材料的露出的部分进行蚀刻,针对与上述三维结构部件的多个部分分别对应的上述掩模以及上述基体材料,按照上述三维结构部件的厚度较薄的顺序进行上述掩模除去工序和上述蚀刻工序的组。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 东京计器株式会社 三维结构部件的制造方法、加速度拾取部件的制造方法、加速度拾取部件以及加速度传感器
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