申请/专利权人：奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司

申请日：2019-01-31

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN111508925B

主分类号：H01L23/498

分类号：H01L23/498;H01L21/48

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2020.09.01#实质审查的生效;2020.08.07#公开

摘要：提供了一种部件承载件100及其制造方法。部件承载件100包括具有第一主表面104和第二主表面106的电绝缘层结构102、在第一主表面104与第二主表面106之间延伸穿过电绝缘层结构102的通孔108、以及连接电绝缘层结构102的对通孔108进行限界的相对的侧壁116的导电桥结构114，其中，电绝缘层结构102的竖向厚度d不超过200μm，并且桥结构114的最窄竖向厚度D为至少20μm。

主权项：1.一种部件承载件100，其中，所述部件承载件100包括：电绝缘层结构102，所述电绝缘层结构102具有第一主表面104和第二主表面106；通孔108，所述通孔108在所述第一主表面104与所述第二主表面106之间延伸穿过所述电绝缘层结构102；导电桥结构114，所述导电桥结构114连接所述电绝缘层结构102的对所述通孔108进行限界的相对的侧壁116；其中，所述电绝缘层结构102的竖向厚度d不超过200μm，并且其中，所述通孔108仅部分地用构成所述导电桥结构114的导电材料填充，使得所述导电桥结构114由面朝所述第一主表面104的呈凹形的第一分界表面136和面朝所述第二主表面106的呈凹形的第二分界表面138来限界，从而使得所述导电桥结构114的最窄竖向厚度D为至少20μm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 部件承载件以及制造部件承载件的方法

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