申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2019-09-24

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112631090A

主分类号：G03F9/00(20060101)

分类号：G03F9/00(20060101);H01L23/544(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.27#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明涉及一种套刻标记和套刻误差测试方法，该套刻标记包括第一标记图形、第二标记图形和套刻点组。第一套刻标记包括第一标记子图形，第二套刻标记包括第二标记子图形，第一标记图形和第二标记图形交叠位置形成的多个套刻点构成套刻点组。通过对位于第一标记图形和或第二标记图形外围的第一标记子图形和或第二标记子图形的长度、位置的设置的规定，可以在无需设置边框的前提下，正确获取套刻标记的边界。因此本发明的套刻标记有效地避免了当第一标记图形和第二标记图形发生位置偏移时，对套刻标记的边界获取错误，从而实现对具有多层光罩的相邻层之间套刻精度的准确测试。

主权项：1.一种套刻标记，其特征在于，包括：第一标记图形，包括沿第一方向延伸、平行等距设置的多个直线型的第一标记子图形，定义晶圆的定位凹槽与中心的连线方向为Y方向，与所述Y方向垂直的方向为X方向，所述第一方向为X方向；第二标记图形，包括沿第二方向延伸、平行等距设置的多个直线型的第二标记子图形，所述第二方向为与X方向呈设定角度的方向；套刻点组，包括第一标记图形和所述第二标记图形交叠位置形成的多个套刻点；位于第一标记图形和或第二标记图形外围的第一标记子图形和或第二标记子图形的长度、位置的设置满足：当第二标记图形在设定方向上的设定偏移范围内相对于第一标记图形发生偏移时，都能使所述套刻标记形成整齐的边缘且套刻标记的整体尺寸不变。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 套刻标记和套刻误差测试方法

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