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【发明公布】一种低介电聚酰亚胺薄膜及其制备方法_北京科技大学_202011424194.X 

申请/专利权人:北京科技大学

申请日:2020-12-08

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN112625278A

主分类号:C08J5/18(20060101)

分类号:C08J5/18(20060101);C08J3/24(20060101);C08G73/10(20060101);C08L79/08(20060101)

优先权:

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态:2022.10.18#发明专利申请公布后的驳回;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要:一种低介电聚酰亚胺薄膜及其制备方法,属于微电子技术领域。所述聚酰亚胺薄膜采用联苯四甲酸二酐BPDA、1,4‑双4‑氨基‑2‑三氟甲基苯氧基苯6FAPB为单体,以三4‑氨基苯基胺TPA为交联剂,通过原位聚合的方法制备成5~15微米的薄膜,薄膜的介电常数为1.76~2.80。聚合过程中涉及的氨基总量与酸酐基总量的摩尔比为1∶1,其中三4‑氨基苯基胺中的氨基数在总的氨基数中所占的摩尔百分数为0.1~20.0%。该薄膜具有介电常数低、热力学性能稳定、加工性能良好的特点,在柔性电路板、微电子封装等领域具有广阔的应用前景。

主权项:1.一种低介电聚酰亚胺薄膜,其特征在于,所述聚酰亚胺为交联聚酰亚胺,聚合所用单体为联苯四甲酸二酐BPDA、1,4-双4-氨基-2-三氟甲基苯氧基苯6FAPB,交联剂为三4-氨基苯基胺TPA。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京科技大学 一种低介电聚酰亚胺薄膜及其制备方法

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