申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2019-10-10

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN112648929A

主分类号：G01B11/14(20060101)

分类号：G01B11/14(20060101);G01B7/14(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要：本申请涉及一种狭缝距离测量工具及其测量方法，该测量工具包括：第一横杆和固定在第一横杆上的第一限位杆，第一限位杆和第一横杆形成直角，第一限位杆用于抵接第一侧壁；第一横杆平行的第二横杆和固定在第二横杆上的第二限位杆，第二限位杆和第二横杆形成直角，第二横杆可相对第一横杆平行移动，用于使第二限位杆抵接第二侧壁；距离传感组件，用于测量第二横杆相对于第一横杆的移动距离；显示组件，与距离传感组件通信连接，用于根据第一限位杆和第二限位杆在第二横杆移动方向上的初始距离以及移动距离计算并显示狭缝距离。通过第一限位杆和第二限位杆快速确定狭缝边界，并通过距离传感组件和显示组件自动测量狭缝距离，可提高测量速度和精度。

主权项：1.一种狭缝距离测量工具，用于测量第一侧壁与第二侧壁之间的狭缝距离，其特征在于，包括：基准部，包括第一横杆和固定在所述第一横杆上的第一限位杆，所述第一限位杆和所述第一横杆形成直角，所述第一限位杆用于抵接所述第一侧壁；移动部，包括与所述第一横杆平行的第二横杆和固定在所述第二横杆上的第二限位杆，所述第二限位杆和所述第二横杆形成直角，所述第二横杆可相对所述第一横杆平行移动，用于使所述第二限位杆抵接所述第二侧壁；距离传感组件，用于测量所述第二横杆相对于所述第一横杆的移动距离；显示组件，与所述距离传感组件通信连接，用于根据第一限位杆和第二限位杆在所述第二横杆移动方向上的初始距离以及所述移动距离计算并显示所述狭缝距离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 狭缝距离测量工具及其测量方法

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