申请/专利权人：珠海美华医疗科技有限公司

申请日：2020-09-08

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN213071061U

主分类号：H01J49/04(20060101)

分类号：H01J49/04(20060101);G01N27/64(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权

摘要：本实用新型公开了一种舱门气压调整装置，包括质谱仪本体、靶板、升降机构、可开合的舱门、导气组件和抽真空组件，其中，质谱仪本体内部设置有相互连通的真空腔体和过渡腔体，靶板和升降机构设于真空腔体的内部，升降机构用于驱动靶板上升或下降，当升降机构将靶板升起并置于过渡腔体与真空腔体之间时，过渡腔体与真空腔体相互独立；舱门设于质谱仪本体上且位于过渡腔体的一侧，舱门用于封盖或打开过渡腔体；导气组件和抽真空组件均与过渡腔体连通，导气组件用于向过渡腔体内部导入气体，抽真空组件用于对过渡腔体内部进行抽真空。根据本实用新型的舱门气压调整装置，便于在不破坏质谱仪的真空环境的情况下，实现样品的放入与取出。

主权项：1.一种舱门气压调整装置，其特征在于，包括：质谱仪本体，所述质谱仪本体内部设置有相互连通的真空腔体和过渡腔体；靶板，设于所述真空腔体的内部；升降机构，设于所述真空腔体的内部，所述升降机构用于驱动所述靶板上升或下降；可开合的舱门，设于所述质谱仪本体上且位于所述过渡腔体的一侧，所述舱门用于封盖或打开所述过渡腔体；导气组件，与所述过渡腔体连通，所述导气组件用于向所述过渡腔体内部导入气体；抽真空组件，与所述过渡腔体连通，所述抽真空组件用于对所述过渡腔体进行抽真空；其中，当所述升降机构将所述靶板升起并置于所述过渡腔体与所述真空腔体之间时，所述过渡腔体与所述真空腔体相互独立。

全文数据：

权利要求：

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