申请/专利权人:光华临港工程应用技术研发(上海)有限公司
申请日:2020-12-28
公开(公告)日:2021-05-07
公开(公告)号:CN112763549A
主分类号:G01N27/12(20060101)
分类号:G01N27/12(20060101);B82Y15/00(20110101);B82Y40/00(20110101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.11.25#授权;2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开
摘要:本发明提供了一种气敏传感器的制备方法,包括:提供一α‑Fe2O3纳米线;在所述α‑Fe2O3纳米线的表面沉积ZnO籽晶层,形成α‑Fe2O3ZnO核壳纳米线;对所述α‑Fe2O3ZnO纳米线进行电极沉积,形成气敏传感器前驱体;对所述气敏传感器前驱体中α‑Fe2O3ZnO核壳纳米线进行枝化,形成基于单根α‑Fe2O3纳米线表面枝化ZnO纳米线结构的气敏传感器。本发明采用在给核壳纳米线搭上电极后再进行纳米线枝化的方法,结合了粉体纳米结构和单根纳米结构的优势,克服了在复杂结构上搭盖电极容易被戳破的困难。制备工艺可重复性强,成品率高,有利于规模化制备。有效地提高气敏传感器对H2S气体响应,且具有利于小型集成化、高比表面积以及优良稳定性等优点,提升了对气体的敏感性。
主权项:1.一种气敏传感器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:提供一α-Fe2O3纳米线;在所述α-Fe2O3纳米线的表面沉积ZnO籽晶层,形成α-Fe2O3ZnO核壳纳米线;对所述α-Fe2O3ZnO纳米线进行电极沉积,形成气敏传感器前驱体;对所述气敏传感器前驱体中α-Fe2O3ZnO核壳纳米线进行枝化,形成基于单根α-Fe2O3纳米线表面枝化ZnO纳米线结构的气敏传感器。
全文数据:
权利要求:
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