申请/专利权人：东莞市凯迪微清洗技术有限公司

申请日：2020-09-22

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN213378176U

主分类号：B08B3/04(20060101)

分类号：B08B3/04(20060101);B08B13/00(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.06.08#授权

摘要：本实用新型公开了全自动晶圆清洗机，包括机体，所述机体内部设有第一腔体及第二腔体，并且所述第一腔体与所述第二腔体之间设有清洗腔，所述机体的前端设有机头，所述机头内部设有物料升降机构、第一弹匣及第二弹匣，所述清洗腔设有清洗摆臂机构及可真空吸附的陶瓷吸盘，所述第一腔体设有物料纵走机构、清洗盖升降机构及物料承载臂，所述物料纵走机构设有可夹取物料的气动夹爪，所述第二腔体设有主轴升降机构及主轴旋转机构，并且所述主轴升降机构与所述主轴旋转机构分别对接所述清洗腔，本实用新型通过升降式的送料及出料，并且通过自动夹取并实现自动清洗的功能实现全自动化清洗，提高清洗效率减少人工成本。

主权项：1.全自动晶圆清洗机，其特征在于：包括机体，所述机体内部设有第一腔体及第二腔体，并且所述第一腔体与所述第二腔体之间设有清洗腔，所述机体的前端设有机头，所述机头内部设有物料升降机构、第一弹匣及第二弹匣；所述清洗腔设有清洗摆臂机构及可真空吸附的陶瓷吸盘，所述第一腔体设有物料纵走机构、清洗盖升降机构及物料承载臂，所述物料纵走机构设有可夹取物料的气动夹爪，所述第二腔体设有主轴升降机构及主轴旋转机构，并且所述主轴升降机构与所述主轴旋转机构分别对接所述清洗腔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市凯迪微清洗技术有限公司 全自动晶圆清洗机

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