申请/专利权人:厦门玉通光电有限公司
申请日:2020-11-12
公开(公告)日:2021-07-16
公开(公告)号:CN213716833U
主分类号:H01J1/50(20060101)
分类号:H01J1/50(20060101);C23C14/35(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.07.16#授权
摘要:本实用新型公开一种离子源磁铁改进结构,包括底板和盖板,所述底板和盖板上下扣合,所述底板内部四边设置阴极,所述底板中间设置阳极,所述阴极顶部内侧和阳极顶部两侧均设置斜角,所述阳极前后两端均设置一阳极空隙。本案结构简单、成本低,有效地设置了均匀的磁场;本案将阴极和阳极均设置在底板上,可大大减少离子源的厚度;本案的阳极前后两端均设置一阳极空隙,阳极空隙可以有效地均匀阴极和阳极在端部的磁场。
主权项:1.一种离子源磁铁改进结构,其特征在于:包括底板1和盖板2,所述底板1和盖板2上下扣合,所述底板1内部四边设置阴极3,所述底板1中间设置阳极4,所述阴极3顶部内侧和阳极4顶部两侧均设置斜角,所述阳极4前后两端均设置一阳极空隙5。
全文数据:
权利要求:
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