申请/专利权人：ATONARP株式会社

申请日：2020-03-24

公开（公告）日：2021-11-19

公开（公告）号：CN113678228A

主分类号：H01J49/10(20060101)

分类号：H01J49/10(20060101);H01J49/42(20060101);H01J49/44(20060101)

优先权：["20190325 JP 2019-057148"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.12.07#实质审查的生效;2021.11.19#公开

摘要：本发明提供一种气体分析装置1，具有：样品腔室11，其具备介电性的壁体构造12，仅流入作为测定对象的样品气体9；等离子体生成机构13，其借由介电性的壁体构造来通过电场和或磁场在被减压后的样品腔室内生成等离子体18；以及分析单元21，其借由所生成的等离子体来分析样品气体。能够提供一种即使是含有腐蚀性气体的样品气体也能够长时间、高精度地进行分析的气体分析装置。

主权项：1.一种气体分析装置，具有：样品腔室，其具备介电性的壁体构造，仅流入作为测定对象的样品气体；等离子体生成机构，其借由所述介电性的壁体构造来通过电场和或磁场在被减压后的所述样品腔室内生成等离子体；以及分析单元，其借由所生成的所述等离子体来分析所述样品气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ATONARP株式会社 气体分析装置

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