申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司

申请日：2021-09-16

公开（公告）日：2021-11-23

公开（公告）号：CN113690164A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);B08B1/00(20060101);B08B5/02(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.12.10#实质审查的生效;2021.11.23#公开

摘要：本公开提供一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法，该装置包括：传送带，传送带顺着传送方向依次包括搬入段、清洗段和搬出段；用于夹持并移动进入清洗段的晶圆的夹持部件，夹持部件在第一方向上能够往复运动，以夹持并移动晶圆至预定清洗位置，第一方向垂直于传送带的承载面；用于对预定位置处的晶圆表面吹风的吹扫器，吹扫器能够在第一方向和或第二方向上往复移动，以移入或移出晶圆表面吹扫作业位置，第二方向垂直于第一方向；用于对晶圆表面清洗的喷淋毛刷，喷淋毛刷至少能够在第一方向和或第二方向上往复移动，以移入或移出晶圆表里清洗作业位置。本公开提供的晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法能够提高清洗干燥效果。

主权项：1.一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于，包括：用于传送晶圆的传送带，所述传送带顺着传送方向依次包括搬入段、清洗段和搬出段；用于夹持并移动进入所述清洗段的晶圆的夹持部件，所述夹持部件在第一方向上能够往复运动，以夹持并移动所述晶圆至预定清洗位置，所述第一方向垂直于所述传送带的承载面；用于对所述预定位置处的晶圆表面吹风的吹扫器，所述吹扫器至少能够在第一方向和或第二方向上往复移动，以移入或移出所述晶圆表面吹扫作业位置，所述第二方向垂直于所述第一方向；用于对所述预定位置处的晶圆表面清洗的喷淋毛刷，所述喷淋毛刷至少能够在所述第一方向和或所述第二方向上往复移动，以移入或移出所述晶圆表里清洗作业位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安奕斯伟材料科技有限公司 一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法

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