申请/专利权人：中环艾能(高邮)能源科技有限公司

申请日：2021-08-26

公开（公告）日：2022-01-21

公开（公告）号：CN113964011A

主分类号：H01J37/32(20060101)

分类号：H01J37/32(20060101);H01L31/18(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.01#授权;2022.02.15#实质审查的生效;2022.01.21#公开

摘要：本发明公开了一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机，包括设备主体，设备主体的内部分隔为上腔室与下腔室，上腔室的内部固定连接有密封板密封板的内部设置有隔断组件，密封板将上腔室分隔为预真空室与刻蚀室，预真空室的内侧壁固定连接有电控推杆，电控推杆的一端与放置板固定连接，放置板的内部设置有定位组件与固定组件，设备主体的顶部固定连接有真空泵，下腔室的内部固定连接有处理器，处理器的一侧设置有储气罐，储气罐的顶部固定连接有气泵，气泵的一端固定连接有输气管，输气管的另一端固定连接有分子泵；该一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机通过设置的防呆组件，能够很好地防止操作人员出现走神，从而忘记操作装置的情况。

主权项：1.一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机，其特征在于：包括设备主体1，所述设备主体1的内部分隔为上腔室2与下腔室3，所述上腔室2的内部固定连接有密封板4所述密封板4的内部设置有隔断组件，所述密封板4将上腔室2分隔为预真空室5与刻蚀室51，所述预真空室5的内侧壁固定连接有电控推杆6，所述电控推杆6的一端与放置板7固定连接，所述放置板7的内部设置有定位组件与固定组件，所述设备主体1的顶部固定连接有真空泵8，所述下腔室3的内部固定连接有处理器9，所述处理器9的一侧设置有储气罐10，所述储气罐10的顶部固定连接有气泵11，所述气泵11的一端固定连接有输气管12，所述输气管12的另一端固定连接有分子泵13，所述设备主体1的外表面固定连接有控制面板14，所述预真空室5的侧壁铰接有密封门15，所述密封门15的外表面固定连接有真空检测仪16，所述设备主体1的外表面设置有防呆组件。

全文数据：

权利要求：

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