申请/专利权人：衢州季丰检测技术有限公司

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117790619A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/225;C23C16/44;C23C16/02;C23C16/22

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明提供了一种PERC电池及其扩散工艺，涉及太阳能电池的技术领域，该扩散工艺包括以下步骤：硅片先依次在760～780℃的温度下进行第一沉积、在780～800℃的温度下进行第二沉积，以及在800～820℃的温度下进行第三沉积，然后进行推进制结，之后依次在810～830℃和760～780℃的温度下进行第四沉积和第五沉积，氧化后，得到扩散完成的硅片。本发明解决了现有工艺中PERC电池正面会产生皮带划痕皮带印，从而导致电池的电性能下降和产线良率下降的技术问题，达到了有效改善PERC电池正面皮带印使电池正面的皮带印得以明显减小和显著增加产线良率的技术效果。

主权项：1.一种PERC电池的扩散工艺，其特征在于，包括以下步骤：硅片先依次在760～780℃的温度下进行第一沉积、在780～800℃的温度下进行第二沉积，以及在800～820℃的温度下进行第三沉积，然后进行推进制结，之后依次在810～830℃和760～780℃的温度下进行第四沉积和第五沉积，氧化后，得到扩散完成的硅片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 衢州季丰检测技术有限公司 PERC电池及其扩散工艺

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